一种用于辉光放电光谱仪的载样装置及样品分析方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及材料成分分析技术领域，提供一种用于辉光放电光谱仪的载样装置及样品分析方法。载样装置包括壳体、放置架、弹性件以及第一密封件，壳体内部设有容纳腔，壳体顶端还设有与容纳腔连通的第一开口；放置架可拆卸设置于容纳腔内，放置架顶部适于穿过第一开口，放置架顶端还设有放置槽，放置槽内适于放置样品；放置架通过弹性件弹性设置于容纳腔内；第一密封件设置于壳体顶端。本发明专利技术的放置架可拆卸设置于壳体的容纳腔内，可根据样品的尺寸规格选择具有适配放置槽的放置架，满足不同规格小尺寸样品的装载需求；样品加载时，弹性件可将根据样品厚度而自适应调整，以保证壳体顶部的第一密封件能够发挥作用，从而保证辉光放电腔的真空状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及材料成分分析，进一步地涉及一种用于辉光放电光谱仪的载样装置及样品分析方法。

技术介绍

1、先进材料的快速发展推动了科技和社会的进步，同时也对材料的表征技术与方法提出了越来越高的要求。随着新材料的不断涌现，不仅要求传统的表征技术在精度和分辨率上不断提升，还需要开发新的表征方法与技术以应对新材料的复杂性和多样性。对材料的组成而言，其成分和杂质元素分布的均匀性会严重影响材料的性质，例如材料中元素的偏析、扩散、富集等行为会显著影响材料的光学、电学、力学等性能。开发高效的表征装置与方法，以实现材料中各元素深度分布的精确表征，对于材料的制备过程控制、生长机理的深入探究以及性能的优化提升而言，具有至关重要的意义。

2、辉光放电光谱仪是表征先进材料中元素组成与深度分布的重要手段，可为先进材料提供由表及里的元素深度分布信息，揭示材料中元素的偏析、扩散、富集等行为，已经成为材料研制与生产领域不可或缺的重要研究手段。辉光放电光谱仪能够快速、灵敏地直接分析材料表面涂层/镀层、有机膜的涂布层、锂电池电极多层结构、航空防护多层膜、以及纳米量级的功能多层膜中的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，p>

8.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的一种用于辉光放电光谱仪的载样装置，其特征在于，

6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾旺，钱荣，卓尚军，盛成，何成根，刘安琦，蒲子轩，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：发明
国别省市：