【技术实现步骤摘要】
本申请属于液相外延，具体涉及一种液相外延生长工装。
技术介绍
1、液相外延是一种晶体生长技术，具体是基于液相-固相转变的原理，通过将衬体浸入过饱和溶液，即金属母液中，金属母液中的溶质沉积到衬底表面实现薄膜生长。目前在液相外延过程中，由于金属母液的粘稠性较大，对衬底的附着力较强，母液容易残留在晶片上，既会导致母液消耗量增加，也会导致母液残留区域的晶体损失，成本较高。
技术实现思路
1、基于此，为解决该技术问题，提供一种减少母液残留在晶片上的液相外延生长工装。
2、本申请提出的技术方案为：
3、一种液相外延生长工装，包括：
4、支架；
5、支撑件，设置于所述支架；
6、衬底，设置于所述支架，且所述衬底背离所述支架的一侧具有生长面；
7、其中，所述支撑件包括支撑部，所述衬底的底部支撑于所述支撑部，且所述支撑部背离所述支架的一侧具有引流面，所述引流面的顶部与所述生长面的底部连接。
8、采用上述的液相外延生长工装，在...
【技术保护点】
1.一种液相外延生长工装，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的液相外延生长工装，其特征在于，所述支撑件还包括压紧部，所述压紧部设置于所述支撑部的顶部，且所述压紧部用于将所述衬底压紧于所述支架。
3.根据权利要求2所述的液相外延生长工装，其特征在于，所述压紧部包括两个压头，两个所述压头沿所述衬底的宽度方向间隔布设，且所述引流面位于两个所述压头之间。
4.根据权利要求3所述的液相外延生长工装，其特征在于，每一所述压头朝向所述衬底的一侧均具有压紧面，自所述压头与所述支撑部连接的一端至远离所述支撑部的一端，所述压头在所述衬底上的正投...
【技术特征摘要】
1.一种液相外延生长工装，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的液相外延生长工装，其特征在于，所述支撑件还包括压紧部，所述压紧部设置于所述支撑部的顶部，且所述压紧部用于将所述衬底压紧于所述支架。
3.根据权利要求2所述的液相外延生长工装，其特征在于，所述压紧部包括两个压头，两个所述压头沿所述衬底的宽度方向间隔布设，且所述引流面位于两个所述压头之间。
4.根据权利要求3所述的液相外延生长工装，其特征在于，每一所述压头朝向所述衬底的一侧均具有压紧面，自所述压头与所述支撑部连接的一端至远离所述支撑部的一端，所述压头在所述衬底上的正投影的尺寸逐渐减小，所述压紧面与所述衬底之间的间距逐渐增大。
5.根据权利要求1所述的液相外延生长工装，其特征在于，所述引流面包括平面段及曲面段，所述平面段的顶部与所述生长面的底部连接，且所述平面段与所述生长面位于同一平面，所述曲面段连接于所述平...
【专利技术属性】
技术研发人员：许军，张傲，许佳康，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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