下载一种液相外延生长工装的技术资料

文档序号:44824748

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本申请公开一种液相外延生长工装,包括支架、支撑件及衬底。支撑件及衬底均设置于所述支架;且所述衬底背离所述支架的一侧具有生长面;其中,所述支撑件包括支撑部,所述衬底的底部支撑于所述支撑部,且所述支撑部背离所述支架的一侧具有引流面,所述引流面的...
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