【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆形貌量测设备，尤其涉及用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置。
技术介绍
1、蓝宝石基氮化镓，或者称为蓝宝石基晶圆，是半导体器件中的基础性原材料，晶圆表面的三维形貌对半导体器件的技术性能具有比较直接且重要的影响。
2、现有的蓝宝石基氮化镓形貌量测设备价格昂贵，并且需要专门的站点人员进行量测，在需要现场确认量测时，存在诸多不便。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置，能够快速量测晶圆表面的三维形貌，操作简单且方便，成本低。
2、本申请实施例提供一种用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置，包括底板、固定支架和量测杆，其中所述底板的中部设置有定位结构，以适于放置晶圆，其中所述固定支架对称设置在所述底板的顶部的两侧，并沿竖直方向延伸，其中所述量测杆以能够沿竖直方向定向移动的方式设置在两个所述固定支架之间，且所述量测杆均布有能够在水平方向覆盖所述定位结构的第一电子千分表，所述第一电子千分表底端的量测端正对所述定位结构...
【技术保护点】
1.用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置，其特征在于，包括底板、固定支架和量测杆，其中所述底板的中部设置有定位结构，以适于放置晶圆，其中所述固定支架对称设置在所述底板的顶部的两侧，并沿竖直方向延伸，其中所述量测杆以能够沿竖直方向定向移动的方式设置在两个所述固定支架之间，且所述量测杆均布有能够在水平方向覆盖所述定位结构的第一电子千分表，所述第一电子千分表底端的量测端正对所述定位结构，以量测晶圆的形貌，所述第一电子千分表电信号连接有显示屏。
2.如权利要求1所述的用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置，其特征在于，所述定位结构由多个同心圆形凹槽组成。p>
3.如权利...
【技术特征摘要】
1.用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置，其特征在于，包括底板、固定支架和量测杆，其中所述底板的中部设置有定位结构，以适于放置晶圆，其中所述固定支架对称设置在所述底板的顶部的两侧，并沿竖直方向延伸，其中所述量测杆以能够沿竖直方向定向移动的方式设置在两个所述固定支架之间，且所述量测杆均布有能够在水平方向覆盖所述定位结构的第一电子千分表，所述第一电子千分表底端的量测端正对所述定位结构，以量测晶圆的形貌，所述第一电子千分表电信号连接有显示屏。
2.如权利要求1所述的用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置，其特征在于，所述定位结构由多个同心圆形凹槽组成。
3.如权利要求2所述的用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置，其特征在于，所述多个同心圆形凹槽至少包括一个4寸圆形凹槽和一个6寸圆形凹槽。
4.如权利要求2所述的用于快速量测蓝宝石基氮化镓形貌的简易装置，其特征在于，两个所述固定支架相对的内侧对称设置有异形结...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱宁，
申请(专利权)人：远山新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。