一种陶瓷覆铜板的制备方法及所得陶瓷覆铜板技术

技术编号:44678093 阅读:16 留言:0更新日期:2025-03-19 20:30
本发明专利技术涉及陶瓷‑金属复合材料技术领域,尤其涉及一种陶瓷覆铜板的制备方法及所得陶瓷覆铜板。本发明专利技术通过高速电弧喷涂技术制备过渡涂层和铜导电涂层,实现了陶瓷基板与导电铜层之间的致密、可靠的结合,可以很方便地在不同尺寸陶瓷基板上制备厚度更大的铜导电涂层,可应用于更大厚度要求的超大功率的IGBT模块,如高铁、大功率LED、电动汽车、5G通讯模组等领域。本发明专利技术优选地通过激光清洗技术粗化陶瓷表面,可以使光滑的陶瓷基板表面形成凹凸深度均匀的粗化表面,同时可清洗表面的油污等,不仅可以提高陶瓷基板与过渡涂层的结合面积,还有助于两者间形成相互“嵌入”的强界面结合,提高两者之间的结合力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及陶瓷-金属复合材料,尤其涉及一种陶瓷覆铜板的制备方法及所得陶瓷覆铜板


技术介绍

1、陶瓷覆铜常用技术包括薄膜法、厚膜法、直接覆铜法(dbc,direct bondedcopper)、激光活化金属化法(lam,laser activation metallization)、活性金属真空钎焊法(amb,active metal bonding)等多种工艺。

2、薄膜法为陶瓷基板预处理后磁控溅射沉积一层200-500nm的cu层,再通过贴膜、曝光、显影等工序完成图形转移,再电镀cu层至所需厚度。该工艺中的薄膜技术的制作设备昂贵,需要高真空条件,生产效率较低,且金属层与基板之间结合力不稳定,沉积cu层之前还要先沉积一层ti作为过渡,增加了工艺复杂度。

3、厚膜法为在预处理后的基板上直接沉积导电浆料,经高温烧结形成导电线路和电极的方法。该工艺简单,但缺点明显,受限制于导电浆料和丝网尺寸,使用浆料粘度高,容易发生堵塞,导电线路电学性能较差,仅适用于对功率和尺寸要求较低的电子器件。

4、dbc法将铜箔在n2保护下在10本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种陶瓷覆铜板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述陶瓷选自Si3N4、Al2O3或AlN中的一种。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述过渡涂层由AlMg5组成。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤S2中使用ER5356焊丝进行高速电弧喷涂。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述过渡涂层的厚度为80-100μm。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述铜涂层厚度为100-3000μm。

>7.根据权利要求1...

【技术特征摘要】

1.一种陶瓷覆铜板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述陶瓷选自si3n4、al2o3或aln中的一种。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述过渡涂层由almg5组成。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,步骤s2中使用er5356焊丝进行高速电弧喷涂。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述过渡涂层的厚度为80-100μm。

6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖芳芳徐良代锋先赵军军徐睦忠唐玺顺章利锋严成文塔尔多夫·亚历山大德米亚诺夫·伊万
申请(专利权)人:浙江巴顿焊接技术研究院
类型:发明
国别省市:

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