【技术实现步骤摘要】
本申请涉及多晶硅制备，尤其涉及一种汽化过热装置和还原设备。
技术介绍
1、改良西门子方法生产多晶硅方法路线包括：利用氯化氢和工业硅粉在一定温度下反应生成三氯氢硅，同时利用冷氢化反应器，硅粉与还原尾气回收的四氯化硅、氯化氢以及氢气反应生成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行精馏提纯，提纯的三氯氢硅与氢气按照一定混合比例引入多晶硅还原炉，三氯氢硅被氢气还原成元素硅，并沉积在硅芯表面，逐渐生成所需规格的多晶硅。
2、还原装置内，常规的三氯氢硅汽化即过热流程为：液相三氯氢硅首先进入汽化器进行汽化，离开汽化器的气相三氯氢硅，再由管道进入过热器，经过热器过热后送还原炉进行反应。相关技术中，汽化器和过热器为独立的两台设备，汽化器和过热器之间通过管道相连。
3、然而，相关技术中，汽化器和过热器的连接方式，反应过程中三氯氢硅的损耗较多，三氯氢硅的利用率较低，同时，设备成本较高。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供一种汽化过热装置和还原设备，有助于缩短反应过程中三氯氢硅的反应路径，从而有益于降低三氯氢硅的损耗，提高三氯氢硅的利用率，进而提高反应效率，保证反应的稳定性；同时，本申请将过热器和汽化器组合为一台设备，实现一步汽化加过热，最大程度节约管道和设备成本，也有利于节约装置占地面积。
2、为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：
3、第一方面，本申请的实施例提供一种汽化过热装置，包括汽化器和过热器；所述汽化器包括汽化器壳体，所述汽化器壳体具有汽化器釜，所述过
4、在一种可能的实现方式中，所述汽化器壳体的排气口的直径与所述过热器壳体的进气口的直径相同，所述汽化器壳体的排气口和所述过热器壳体的进气口对接并耦合相连。
5、在一种可能的实现方式中，所述汽化器壳体的排气口的直径大于所述过热器壳体的进气口的直径；所述过热器壳体的进气口嵌入至少部分所述汽化器釜中，位于所述汽化器釜中的所述过热器壳体与所述汽化器壳体相连。
6、在一种可能的实现方式中，所述汽化器壳体的排气口的直径小于所述过热器壳体的进气口的直径；所述汽化器壳体的排气口嵌入至少部分所述过热器釜中，位于所述过热器釜中的所述汽化器壳体与所述过热器壳体相连。
7、在一种可能的实现方式中，所述过热器的长度的延伸方向和所述汽化器的长度的延伸方向处于同一水平面。
8、在一种可能的实现方式中，所述过热器的长度的延伸方向和所述汽化器的长度的延伸方向交叉。
9、在一种可能的实现方式中，所述过热器的数量包括至少两个，沿所述汽化器的径向方向，其中一个所述过热器连接在所述汽化器的一侧，另一个所述过热器连接在所述汽化器的另一侧。
10、在一种可能的实现方式中，所述汽化器包括耐腐蚀件；和/或，所述过热器包括耐高温件；和/或，所述汽化器壳体的排气口与所述过热器壳体的进气口之间设置有密封件。
11、在一种可能的实现方式中，所述汽化器和所述过热器通过法兰相连；或，所述汽化器和所述过热器卡接相连；或，所述汽化器和所述过热器螺接相连；或，所述汽化器和所述过热器铆接相连；或，所述汽化器和所述过热器焊接相连。
12、第二方面，本申请的实施例提供一种还原设备，包括还原炉和汽化过热装置，所述汽化过热装置的过热器连通于所述汽化器和所述还原炉之间。
13、本申请提供的汽化过热装置和还原设备，包括汽化器和过热器，所述汽化器壳体和所述过热器壳体耦合相连，所述汽化器和所述过热器为一体件。这样，相比于相关技术中汽化器和过热器通过管道相连，一方面，本申请有助于缩短反应过程中三氯氢硅的反应路径，从而有益于降低三氯氢硅的损耗，提高三氯氢硅的利用率，进而提高反应效率，保证反应的稳定性；另一方面，本申请将过热器和汽化器组合为一台设备，实现一步汽化加过热，从而节约管道和设备成本；再一方面，有助于避免若管道出现损坏导致三氯氢硅溢出的风险，从而最大程度保证反应的可靠性。
14、本申请的构造以及它的其他申请目的及有益效果将会通过结合附图而对优选实施例的描述而更加明显易懂。
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1.一种汽化过热装置，其特征在于，包括汽化器和过热器；
2.根据权利要求1所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器壳体的排气口的直径与所述过热器壳体的进气口的直径相同，所述汽化器壳体的排气口和所述过热器壳体的进气口对接并耦合相连。
3.根据权利要求1所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器壳体的排气口的直径大于所述过热器壳体的进气口的直径；
4.根据权利要求1所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器壳体的排气口的直径小于所述过热器壳体的进气口的直径；
5.根据权利要求1-4中任一项所述的汽化过热装置，其特征在于，所述过热器的长度的延伸方向和所述汽化器的长度的延伸方向处于同一水平面。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的汽化过热装置，其特征在于，所述过热器的长度的延伸方向和所述汽化器的长度的延伸方向交叉。
7.根据权利要求6所述的汽化过热装置，其特征在于，所述过热器的数量包括至少两个，沿所述汽化器的径向方向，至少一个所述过热器连接在所述汽化器的一侧，至少一个所述过热器连接在所述汽化器的另一侧。
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