【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种洗涤装置及多晶硅生产系统,属于应用化工领域。
技术介绍
1、目前国内主流的多晶硅生产工艺采用改良西门子法,在还原炉中使用氢气将气相三氯氢硅在还原,在还原炉内硅芯上化学气相沉积以生成棒状多晶硅。还原炉生产过程为间歇操作,需定期开炉卸出多晶硅棒、安装硅芯。还原炉停止沉积、开炉前,需使用氮气对还原炉内气体进行多次置换,置换得到含有硅粉的氮气进入洗涤塔,在洗涤塔中使用水进行喷淋洗涤。
2、现有技术中,常由洗涤塔底部抽取洗涤液,使用循环泵将洗涤液打入洗涤塔顶端用于喷淋洗涤。然而,由于洗涤液中含有硅粉,洗涤塔存在循环管路容易堵塞,持续运行时间较短的缺陷。
3、因此,开发一种不易堵塞、持续运行时间较长的洗涤装置成为研究方向。
技术实现思路
1、本技术提供一种洗涤装置,该装置具有不易堵塞、持续运行时间较长的特点。
2、本技术还提供一种多晶硅生产系统,该系统具有持续运行时间较长的特点。
3、本技术提供一种洗涤装置,其中,包括具有空腔的洗涤单元、驱
...
【技术保护点】
1.一种洗涤装置,其特征在于,包括具有空腔的洗涤单元、驱动单元;
2.根据权利要求1所述的洗涤装置,其特征在于,所述浮球的容积为0.2-0.5m3。
3.根据权利要求1所述的洗涤装置,其特征在于,所述导流软管的公称直径为DN50-DN200。
4.根据权利要求1所述的洗涤装置,其特征在于,所述洗涤装置还包括与所述自由端连通的弯头管件,所述弯头管件的自由端方向背离洗涤液液面。
5.根据权利要求4所述的洗涤装置,其特征在于,所述弯头管件的角度为90°-135°。
6.根据权利要求5所述的洗涤装置,其特征在于,所述
...【技术特征摘要】
1.一种洗涤装置,其特征在于,包括具有空腔的洗涤单元、驱动单元;
2.根据权利要求1所述的洗涤装置,其特征在于,所述浮球的容积为0.2-0.5m3。
3.根据权利要求1所述的洗涤装置,其特征在于,所述导流软管的公称直径为dn50-dn200。
4.根据权利要求1所述的洗涤装置,其特征在于,所述洗涤装置还包括与所述自由端连通的弯头管件,所述弯头管件的自由端方向背离洗涤液液面。
5.根据权利要求4所述的洗涤装置,其特征在于,所述弯头管件的角度为90°-135°。
6.根据权利要求5所述的洗涤装置,其特征在于,所述弯头管件的角度为90°。
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【专利技术属性】
技术研发人员:段毓达,赵国强,马迎杰,薛皓中,葛蒙,柯曾鹏,陈维平,骆彩萍,陈斌,韦岗锁,
申请(专利权)人:华陆工程科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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