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一种洗涤装置及多晶硅生产系统制造方法及图纸
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下载一种洗涤装置及多晶硅生产系统的技术资料
文档序号:44855218
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本技术公开了一种洗涤装置及多晶硅生产系统,该洗涤装置包括具有空腔的洗涤单元、驱动单元;所述洗涤单元的洗涤液出口通过所述驱动单元与所述洗涤单元的洗涤液入口连通,所述洗涤单元的洗涤液入口高程高于所述洗涤单元的洗涤液出口;所述洗涤单元包括洗涤塔,...
该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。
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