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本申请提供一种汽化过热装置和还原设备，涉及多晶硅制备技术领域，以解决相关技术中汽化器和过热器的连接方式导致反应过程中三氯氢硅的损耗较多、以及设备成本较高的问题。汽化过热装置包括汽化器和过热器；汽化器包括汽化器壳体，汽化器壳体具有汽化器釜，过...
该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。

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