【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆处理设备领域，尤其涉及一种晶圆送洗合并移载设备。
技术介绍
1、晶圆片在制片过程中需要送往清洗机做清洗处理，现有技术通常采用人工操作的方式将卡塞盒内的晶圆取出，然后转移到特氟龙材料的晶舟内，由晶舟统一将两框晶圆送入清洗机内做批量清洗。由于卡塞内的晶圆数量较少，而清洗机的容量较大，因此需要将至少两个卡塞内的晶圆全都搬运转移到晶舟内，在转移晶圆的过程中，容易因操作不当而发生晶圆受损。且人工上料过程容易因检查不到位等原因而导致晶圆正反面放反，造成清洗不到位等问题。
技术实现思路
1、本技术主要解决的技术问题是提供一种晶圆送洗合并移载设备，采用xz轴齿轮齿条模组驱动搬运框架，并通过搬运框架实现卡塞与晶舟间的晶圆交接，以及晶舟与下游设备的传递，转运过程中能自动完成变距交接和正反面校正，从而在送洗过程中使晶圆得到较好的保护，同时提升清洗机前置装载效率。
2、为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种晶圆送洗合并移载设备，包括机柜、xz轴齿轮齿条模组、搬运框架、卡...
【技术保护点】
1. 一种晶圆送洗合并移载设备，其特征在于，包括机柜、XZ轴齿轮齿条模组、搬运框架、卡塞载台、晶舟载台、晶圆升降台一、晶圆升降台二、晶圆移载架、晶舟移载架，所述机柜背面设置有XZ轴齿轮齿条模组，所述XZ轴齿轮齿条模组上水平架设有搬运框架， 所述机柜的台面沿X轴向并列设置有卡塞载台和晶舟载台，所述卡塞载台中间镂空并内置有晶圆升降台一，所述晶舟载台中间镂空并内置有晶圆升降台二，所述搬运框架内并列架设有一对晶圆移载架和一对晶舟移载架。
2. 根据权利要求1 所述的晶圆送洗合并移载设备，其特征在于，所述晶舟载台的X轴向下游侧位置布置有晶圆清洗机，所述晶圆移载架通过...
【技术特征摘要】
1. 一种晶圆送洗合并移载设备，其特征在于，包括机柜、xz轴齿轮齿条模组、搬运框架、卡塞载台、晶舟载台、晶圆升降台一、晶圆升降台二、晶圆移载架、晶舟移载架，所述机柜背面设置有xz轴齿轮齿条模组，所述xz轴齿轮齿条模组上水平架设有搬运框架， 所述机柜的台面沿x轴向并列设置有卡塞载台和晶舟载台，所述卡塞载台中间镂空并内置有晶圆升降台一，所述晶舟载台中间镂空并内置有晶圆升降台二，所述搬运框架内并列架设有一对晶圆移载架和一对晶舟移载架。
2. 根据权利要求1 所述的晶圆送洗合并移载设备，其特征在于，所述晶舟载台的x轴向下游侧位置布置有晶圆清洗机，所述晶圆移载架通过xz轴齿轮齿条模组分别与晶圆升降台一、晶圆升降台二往复对接，所述晶舟移载架通过xz轴齿轮齿条模组分别与晶舟载台和晶圆清洗机往复对接。
3.根据权利要求1所述的晶圆送洗合并移载设备，其特征在于，所述xz轴齿轮齿条模组包括x轴齿轮齿条模组和z轴齿轮齿条模组，所述机柜背面设置有若干x轴线轨，所述x轴线轨上承载有背板，所述背板和机柜背面之间分置有传动啮合的x轴齿轮齿条模组；所述背板上端设置有集成了多枚滑块的方筒形的基座，所述基座内竖直插接有升降柱，所述升降柱附挂有多条连接到滑块的直轨，所述升降柱下端及基座下方的背板上分置有传动啮合的z轴齿轮齿条模组。
4.根据权利要求1所述的晶圆送洗合并移载设备，其特征在于，所述晶圆移载架和晶舟移载架上分别一一对应锁付有y轴转轴，所述y轴转轴分别通过轴承架设在搬运框架内；所述搬运框架内沿x轴向同轴对齐设置有第一双出轴步进电机和第二双出轴步进电机，所述第一双出轴步进电机的两端分别通过一对相互啮合的蜗轮蜗杆与锁付于晶圆移载架上的y轴转轴传动连接，所述第二双出轴步进电机的两端分别通过一对相互啮合的蜗轮蜗杆与锁付于晶舟移载架上的y轴转轴传动连接；所述晶...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海新，张震，
申请(专利权)人：苏州美仪自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。