温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开一种晶圆送洗合并移载设备，包括机柜、XZ轴齿轮齿条模组、搬运框架、卡塞载台、晶舟载台、晶圆升降台一、晶圆升降台二、晶圆移载架、晶舟移载架，所述机柜背面设置有XZ轴齿轮齿条模组，所述XZ轴齿轮齿条模组上水平架设有搬运框架，所述机柜的...
该专利属于苏州美仪自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州美仪自动化设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。