【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆加工设备领域，尤其涉及一种开盖机构。
技术介绍
1、往光刻机上货口投放晶圆传输盒时，需要先将光刻机的上货口门罩打开，光刻机作业平台上一般配备有多个上货口，多个上货口须逐一对门罩做手动启闭操作，其操作过程较为繁琐，给晶圆传输盒的上料工序造成一定阻碍。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决的技术问题是提供一种开盖机构，通过减速电机控制摆臂实现对门罩的自动化启闭控制，并根据密封需要增加锁压片来抑制应力形变，从而提高了门罩的稳定性和密封性。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种开盖机构，包括上货口、门罩、基座、减速电机、传动轴、摆臂、第一锁压片、第二锁压片、转接块、直线滑块导轨，所述上货口盖有一门罩，所述门罩倚靠一基座，所述基座背面水平架设有由减速电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端设置有一对摆臂，所述摆臂越过基座延伸到门罩的两侧面，所述两侧面的内外壁面叠装有第一锁压片和第二锁压片，所述第一锁压片、第二锁压片经转接块锁接到直线滑块导轨上，所述...
【技术保护点】
1.一种开盖机构，其特征在于，包括上货口、门罩、基座、减速电机、传动轴、摆臂、第一锁压片、第二锁压片、转接块、直线滑块导轨，所述上货口盖有一门罩，所述门罩倚靠一基座，所述基座背面水平架设有由减速电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端设置有一对摆臂，所述摆臂越过基座延伸到门罩的两侧面，所述两侧面的内外壁面叠装有第一锁压片和第二锁压片，所述第一锁压片、第二锁压片经转接块锁接到直线滑块导轨上，所述直线滑块导轨同向集成在每一摆臂上。
2. 根据权利要求1 所述的开盖机构，其特征在于，所述门罩与第一锁压片之间设置有密封垫，所述门罩与第二锁压片之间设置有密封垫。
<...【技术特征摘要】
1.一种开盖机构，其特征在于，包括上货口、门罩、基座、减速电机、传动轴、摆臂、第一锁压片、第二锁压片、转接块、直线滑块导轨，所述上货口盖有一门罩，所述门罩倚靠一基座，所述基座背面水平架设有由减速电机驱动的传动轴，所述传动轴的两端设置有一对摆臂，所述摆臂越过基座延伸到门罩的两侧面，所述两侧面的内外壁面叠装有第一锁压片和第二锁压片，所述第一锁压片、第二锁压片经转接块锁接到直线滑块导轨上，所述直线滑块导轨同向集成在每一摆臂上。
2. 根据权利要求1 所述的开盖机构，其特征在于，所述门罩与第一锁压片之间设置有密封垫，所述门罩与第二锁压片之间设置有密封垫。
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【专利技术属性】
技术研发人员：李海新，薄原厂，黄灿，
申请(专利权)人：苏州美仪自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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