用于TFT-LCD的长寿命多制程兼容性水系剥离液、制备和应用制造技术

本发明专利技术涉及薄膜晶体管技术领域，具体涉及一种用于TFT‑LCD的长寿命多制程兼容性水系剥离液、制备和应用。通过配方组分及其用量比例的改进，摒弃了传统的羟胺类和酚类缓蚀剂成分，得到的剥离液可充分保护金属不受腐蚀或氧化，并实现了各制程兼容。经过实际应用发现，用本发明专利技术的剥离液溶解光刻胶，溶解后混合液中光刻胶的质量浓度可达到5％再进行更换，且剥离液的性能稳定，因此，使用寿命得到明显延长。发明专利技术人意外地发现本发明专利技术剥离液配方很好地兼容Cu‑ITO制程，且加入表面活性剂，在清洗过程中无剥离液残留，大大降低了后端制程的不良率。本发明专利技术剥离液容易实现规模化生产制备，应用过程环境友好，可很好地推广至液晶显示器、面板等工业生产应用过程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄膜晶体管，更具体地涉及一种用于tft-lcd的长寿命多制程兼容性水系剥离液及其制备和应用。

技术介绍

1、薄膜晶体管(thin film transistor，tft)技术是采用新材料和新工艺的大规模半导体集成电路技术，它是在玻璃或塑料基板等非单晶片上，通过溅射、化学沉积等多步工艺构造各种极微细的膜，并通过蚀刻、剥离等膜加工工艺及金属连线制造集成电路。薄膜晶体管的加工工艺对金属连线尺寸变化、侧掏(side-wall trenching)等容忍度较高。湿法蚀刻技术以其高蚀刻速率、低成本、易操作等优点，是薄膜晶体管常用的加工技术。

2、随着市场需求和行业技术的不断发展，富含多道薄膜电晶体制程的薄膜晶体管研发及生产受到日益广泛的关注和重视。现有技术中用于薄膜晶体管的蚀刻液大多仍只针对单一制程，如铝制程或铜制程，已渐渐不能满足市场和技术发展的需求。因此，研制出一种制作多道薄膜电晶体的多制程兼容且寿命长、兼容性好的水性剥离液刻不容缓。

技术实现思路

1、为此，需要提供一种用于tft-lcd的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于TFT-LCD的长寿命多制程兼容性水系剥离液，其特征在于，以重量百分比计，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD的长寿命多制程兼容性水系剥离液，其特征在于，所述胺类选自N-甲基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基丙酰胺、二甘醇胺、AMP-95和单乙醇胺中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD的长寿命多制程兼容性水系剥离液，其特征在于，所述极性溶剂选自二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇乙醚和丙二醇单甲醚中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD的长寿命多制程兼容性水系剥离液，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种用于tft-lcd的长寿命多制程兼容性水系剥离液，其特征在于，以重量百分比计，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于tft-lcd的长寿命多制程兼容性水系剥离液，其特征在于，所述胺类选自n-甲基乙醇胺、n-甲基二乙醇胺、n,n-二甲基丙酰胺、二甘醇胺、amp-95和单乙醇胺中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的一种用于tft-lcd的长寿命多制程兼容性水系剥离液，其特征在于，所述极性溶剂选自二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇乙醚和丙二醇单甲醚中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的一种用于tft-lcd的长寿命多制程兼容性水系剥离液，其特征在于，所述缓蚀剂选自钼酸铵、尿嘧啶、甲基-苯丙三氮唑、己二酸、肌酸酐和山梨糖醇中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的一种用于tft-...

【专利技术属性】
技术研发人员：史郭涛，林秋玉，
申请(专利权)人：福建钰融科技有限公司，
类型：发明
国别省市：