一种电子级HCl除砷系统及提纯方法技术方案

本发明专利技术公开了一种电子级HCl除砷系统及提纯方法，包括通过管道依次连接的原料混合系统、精馏提纯系统以及硫酸洗气系统，所述原料混合系统用于将原料盐酸和高锰酸钾溶液进行混合，所述精馏提纯系统用于将混合的原料进行精馏提纯，以去除AsCl<subgt;5</subgt;和部分金属杂质，所述硫酸洗气系统用于通过浓硫酸洗涤去除水分和金属杂质。本发明专利技术通过将原料盐酸和高锰酸钾溶液通过原料混合系统进行混合，使原料盐酸中的AsCl<subgt;3</subgt;反应为AsCl<subgt;5</subgt;，再通过精馏提纯系统进行精馏提纯，以去除AsCl<subgt;5</subgt;和部分金属杂质，再通过硫酸洗气系统洗涤去除水分和金属杂质，从而得到电子级HCl成品。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子级hcl提纯，尤其是涉及一种电子级hcl除砷系统及提纯方法。

技术介绍

1、电子级hcl作为半导体工艺中非常重要的电子气体，纯度超过99.999%，主要用于制备单晶硅、半导体、光电子、光伏、平板显示器等电子工业领域。电子级hcl可以使晶体硅的纯度达到ppb级，在半导体行业中，电子级hcl还被用在退火、清洁、蚀刻和光刻等步骤，在制造便携式x射线荧光仪、高清成像仪等设备时也需要用到电子级hcl。

2、目前电子级hcl的主要生产工艺为盐酸精馏工艺，工业级的盐酸经过精馏得到电子级hcl。工业级盐酸中大多数杂质由于其沸点与盐酸水溶液有较大差距，可通过蒸馏过程去除。as的含量是电子级hcl的重要指标，砷在盐酸中一般以ascl3和ascl5两种形态存在，其中ascl3由于其沸点与盐酸接近，难以在精馏过程中分离，这也导致hcl产品中含as量较高，为此我们提出了一种电子级hcl除砷系统及提纯方法。

3、在现有技术中，中国专利文献cn112723312a，公开(公告)日 ：2021.04.30，公开了一种低浓度含杂质稀盐酸提纯氯化氢的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级HCl除砷系统，其特征在于：包括通过管道依次连接的原料混合系统、精馏提纯系统以及硫酸洗气系统，所述原料混合系统用于将原料盐酸和高锰酸钾溶液进行混合，所述精馏提纯系统用于将混合的原料进行精馏提纯，以去除AsCl5和部分金属杂质，所述硫酸洗气系统用于通过浓硫酸洗涤去除水分和金属杂质。

2.根据权利要求1所述的一种电子级HCl除砷系统，其特征在于：所述原料混合系统包括原料混合罐（5），原料混合罐（5）上设置有原料盐酸进口（1）和高锰酸钾溶液进口（3），原料混合罐（5）的出口端通过管道与精馏提纯系统连通。

3.根据权利要求2所述的一种电子级HCl除砷系统，其...

【技术特征摘要】

1.一种电子级hcl除砷系统，其特征在于：包括通过管道依次连接的原料混合系统、精馏提纯系统以及硫酸洗气系统，所述原料混合系统用于将原料盐酸和高锰酸钾溶液进行混合，所述精馏提纯系统用于将混合的原料进行精馏提纯，以去除ascl5和部分金属杂质，所述硫酸洗气系统用于通过浓硫酸洗涤去除水分和金属杂质。

2.根据权利要求1所述的一种电子级hcl除砷系统，其特征在于：所述原料混合系统包括原料混合罐（5），原料混合罐（5）上设置有原料盐酸进口（1）和高锰酸钾溶液进口（3），原料混合罐（5）的出口端通过管道与精馏提纯系统连通。

3.根据权利要求2所述的一种电子级hcl除砷系统，其特征在于：所述原料盐酸进口（1）和高锰酸钾溶液进口（3）上分别安装有原料盐酸流量计（2）和高锰酸钾溶液流量计（4）。

4.根据权利要求2或3所述的一种电子级hcl除砷系统，其特征在于：所述原料混合罐（5）上还安装有第一循环管路，第一循环管路一端连接在原料混合罐（5）的出口端，另一端也与原料混合罐（5）连通，第一循环管路上安装有原料混合泵（6）；所述第一循环管路上在位于原料混合泵（6）的出口端通过管道与精馏提纯系统连接；所述第一循环管路与精馏提纯系统连接的管道上安装有原料流量计（7）和阀门，第一循环管路的下游端安装有阀门。

5.根据权利要求1所述的一种电子级hcl除砷系统，其特征在于：所述精馏提纯系统包括精馏塔（8）和盐酸除雾器（10），所述原料混合系统通过管道与精馏提纯系统的精馏塔（8）入口端连通，精馏塔（8...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴春元，夏致远，杨着，贺兆波，叶瑞，蔡俊霄，田坤，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：