一种PVD载板传动设备制造技术

本技术公开了一种PVD载板传动设备，包括腔体和活动于腔体内部的载板腔体内壁的底部固定连接有安装板，安装板的内部对称开设有两个导槽，载板的底部固定连接有两个在相对应导槽内部活动连接的连接板，载板与安装板之间对称设有两个磁悬浮组件，安装板顶部且位于载板的两侧对称设有纠偏组件；磁悬浮组件包括固定连接于安装板顶部、导槽内壁一侧和底部的电磁铁、固定连接于连接板底部和一侧的第一磁体。通过上述结构，可使得载板与安装板分离以避免载板与安装板之间的摩擦，避免摩擦产生的粉尘沉积于腔体内影响电池片的生产质量，同时通过设置纠偏组件用于监测载板的偏移状态以利于通过调整电磁铁的磁力大小调整载板的位置。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及pvd生产设备，特别涉及一种pvd载板传动设备。

技术介绍

1、在制备高效异质结太阳能电池时，pvd工序是非常关键的步骤之一。经过化学气相沉积的硅片放置在载板上，载板作为硅片承载传送托盘，输送硅片进入真空腔室进行物理气相沉积。

2、在pvd设备制造领域，载板的传动装置是关键的组成部分，其性能直接影响到pvd设备的运行效率、薄膜沉积的均匀性和质量。传统的载板传动装置通常采用滚轮或皮带等接触式传动方式，这种方式存在摩擦损耗大、易产生粉尘、维护成本高等问题。因此，本领域技术人员提供一种pvd载板传动设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种pvd载板传动设备，可使得载板与安装板分离以避免载板与安装板之间的摩擦，避免摩擦产生的粉尘沉积于腔体内影响电池片的生产质量，同时通过设置纠偏组件用于监测载板的偏移状态以利于通过调整电磁铁的磁力大小调整载板的位置。

2、为实现上述目的，提供一种pvd载板传动设备，包括腔体和活动于腔体内部的载板，所述腔体内壁的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PVD载板传动设备，包括腔体（1）和活动于腔体（1）内部的载板（3），其特征在于，所述腔体（1）内壁的底部固定连接有安装板（2），所述安装板（2）的内部对称开设有两个导槽（11），所述载板（3）的底部固定连接有两个在相对应导槽（11）内部活动连接的连接板（5），所述载板（3）与安装板（2）之间对称设有两个磁悬浮组件，所述安装板（2）顶部且位于载板（3）的两侧对称设有纠偏组件；

2.根据权利要求1所述的一种PVD载板传动设备，其特征在于，所述纠偏组件包括固定连接于安装板（2）顶部且设为C形结构的安装架（8）、两个固定连接于安装架（8）内部的第一压力传感器（9）和固定连接...

【技术特征摘要】

1.一种pvd载板传动设备，包括腔体（1）和活动于腔体（1）内部的载板（3），其特征在于，所述腔体（1）内壁的底部固定连接有安装板（2），所述安装板（2）的内部对称开设有两个导槽（11），所述载板（3）的底部固定连接有两个在相对应导槽（11）内部活动连接的连接板（5），所述载板（3）与安装板（2）之间对称设有两个磁悬浮组件，所述安装板（2）顶部且位于载板（3）的两侧对称设有纠偏组件；

2.根据权利要求1所述的一种pvd载板传动设备，其特征在于，所述纠偏组件包括固定连接于安装板（2）顶部且设为c形结构的安装架（8）、两个固定连接于安装架（8）内部的第一压力传感器（9）和固定连接于安装架（8）内部且与载板（3）侧边相对的第二压力传感器（10），两个所述第一压力传感器（9）分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：张小健，
申请(专利权)人：昆山市正行电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：