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本技术公开了一种PVD载板传动设备，包括腔体和活动于腔体内部的载板腔体内壁的底部固定连接有安装板，安装板的内部对称开设有两个导槽，载板的底部固定连接有两个在相对应导槽内部活动连接的连接板，载板与安装板之间对称设有两个磁悬浮组件，安装板顶部且...
该专利属于昆山市正行电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山市正行电子科技有限公司授权不得商用。

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