一种文件的审核方法、系统及计算机设备技术方案

技术编号:44487062 阅读:17 留言:0更新日期:2025-03-04 17:52
本公开是关于一种文件的审核方法、系统及计算机设备,通过获取待审核文件,并将待审核文件输入至预存的识别模型中进行识别,提取待审核文件中的审核特征;基于预设规则,对审核特征进行审核,以确定审核特征是否符合预设规则;待审核文件中的至少部分审核特征满足第一预设条件时,基于至少部分审核特征生成加工文件,使用加工文件对半导体结构进行加工。本公开利用预存的识别模型对待审核文件进行识别,对于输入至识别模型的各种不同类型的文件,能够从中快速提取出各种特征,进而生成标准的加工文件,不仅提升了审核效率和审核精度,还帮助加快加工进度和加工可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及信息,具体涉及一种文件的审核方法、系统及计算机设备


技术介绍

1、光罩厂涉及多种技术文件,如客户提供的设备说明书、tooling(工艺装备)文件等,这些文件规定了光罩制作的规格参数等,包含了大量复杂的信息,准确理解和识别其中的要求非常重要。

2、现有的文件审核方式包括人工审核和半自动化审核两种,其中,人工核对文件中的信息存在耗时长、易出错的问题。半自动化审核过程中,会设置一个审核程序进行审核,但是这类程序一般为固定代码,只能处理具有固定格式的文档,这种审核方法不具有通用性,且更新成本高。


技术实现思路

1、为克服相关技术中存在的问题,本公开提供了一种文件的审核方法、系统及计算机设备。

2、根据本公开实施例的第一方面,提供了一种文件的审核方法,包括:获取待审核文件,其中,所述待审核文件用于记载半导体结构的加工参数,所述半导体结构包括光罩;将所述待审核文件输入至预存的识别模型中进行识别,提取所述待审核文件中的审核特征;基于预设规则,对所述审核特征进行审核,以确定所述审核特征是否本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种文件的审核方法,其特征在于,所述审核方法包括:

2.根据权利要求1所述的文件的审核方法,其特征在于,获取所述识别模型的方法包括:

3.根据权利要求2所述的文件的审核方法,其特征在于,所述样本信息包括样本文字信息,所述预设信息包括预设文字信息,所述基于预存的预设信息对所述样本信息进行评估,当所述样本信息满足第二预设条件时,获得所述识别模型,包括:

4.根据权利要求3所述的文件的审核方法,其特征在于,所述样本信息包括样本图像信息,所述预设信息包括预设图像信息,所述基于预存的预设信息对所述样本信息进行评估,当所述样本信息满足第二预设条件时,获得所述识...

【技术特征摘要】

1.一种文件的审核方法,其特征在于,所述审核方法包括:

2.根据权利要求1所述的文件的审核方法,其特征在于,获取所述识别模型的方法包括:

3.根据权利要求2所述的文件的审核方法,其特征在于,所述样本信息包括样本文字信息,所述预设信息包括预设文字信息,所述基于预存的预设信息对所述样本信息进行评估,当所述样本信息满足第二预设条件时,获得所述识别模型,包括:

4.根据权利要求3所述的文件的审核方法,其特征在于,所述样本信息包括样本图像信息,所述预设信息包括预设图像信息,所述基于预存的预设信息对所述样本信息进行评估,当所述样本信息满足第二预设条件时,获得所述识别模型,包括:

5.根据权利要求4所述的文件的审核方法,其特征在于,所述样本信息包括样本文字信息...

【专利技术属性】
技术研发人员:金枝
申请(专利权)人:合光光掩模科技安徽有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1