【技术实现步骤摘要】
本技术涉及剥离作业，具体涉及一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具。
技术介绍
1、掩膜版(又称光罩、铬版)，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。通常由不透明的金属铬在透明玻璃基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
2、掩膜版光学膜通常由聚合物材料构成，是一种透明的薄膜，用于覆盖在掩膜版的表面，主要对掩膜版起物理与化学保护作用。物理保护：保护掩膜版表面的图案免受在搬运或使用过程中的物理损伤。防止灰尘和其他污染物直接落在掩膜版表面，影响掩膜版图形线路效果。化学保护：防止化学试剂或腐蚀性气体与掩膜版表面发生化学反应。
3、当光学膜受到外界应力影响造成膜破、膜皱、受到污染等情况，或者光学膜在长时间使用后，累计的曝光能量已经影响光学膜表面光透过率、光学膜强度等使用效果时，则需要对掩膜版上光学膜进行剥离和更换，以延续掩膜版的使用。
4、目前在对掩膜版表面的光学膜进行剥离时，由于光学膜框底部与掩膜版相连区域有强力的粘合剂，在剥离作业工程中，需要使用特制的撬膜治具从边缘开始撬起光学...
【技术保护点】
1.一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，所述剥离支撑件包括按顺序依次连接的撬起部分、支撑部分和连接部分。
3.根据权利要求2所述的一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，所述撬起部分、支撑部分和连接部分一体式连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，所述撬起部分为直三棱柱，撬起部分的三个侧面分别作为撬起面、第一连接面和撬起底面，所述第一连接面与支撑部分连接。
5.根据权利要求4所述的一...
【技术特征摘要】
1.一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，所述剥离支撑件包括按顺序依次连接的撬起部分、支撑部分和连接部分。
3.根据权利要求2所述的一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，所述撬起部分、支撑部分和连接部分一体式连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，所述撬起部分为直三棱柱，撬起部分的三个侧面分别作为撬起面、第一连接面和撬起底面，所述第一连接面与支撑部分连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特征在于，所述支撑部分为直四棱柱，支撑部分的三个侧面分别作为支撑面、第二连接面、第三连接面和支撑底面，所述第二连接面与第一连接面重合连接，所述第三连接面与连接部分连接。
6.根据权利要求5所述的一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈德浇，雷蒙，司继伟，杜武兵，
申请(专利权)人：深圳市路维光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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