温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种一种用于剥离掩膜版表面光学膜的治具；涉及剥离作业技术领域；包括用于撬起掩膜版表面的光学膜，并支撑在掩膜版与光学膜之间的剥离支撑件，用于向剥结构施加撬起的用力的支撑杆；剥离支撑件与支撑杆可拆卸安装；本方案在现有技术基础上进行结...
该专利属于深圳市路维光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市路维光电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。