【技术实现步骤摘要】
本技术属于蚀刻，尤其涉及一种蚀刻液循环装置以及具有该装置的蚀刻设备。
技术介绍
1、蚀刻是使用化学反应或物理撞击作用而移除部分材料的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术，但在采用喷涂法进行蚀刻时，蚀刻液易大量残留在工件上，导致浪费，现提出一种可对工件上残留的是可以进行回收的装置。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种蚀刻液循环装置以及具有该装置的蚀刻设备，解决了上述问题。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种蚀刻液循环装置以及具有该装置的蚀刻设备，包括机架，还包括：推杆组件，用于吸收工件上的蚀刻液；所述推杆组件，包括滑杆、吸水垫、推杆以及偏心轮，所述滑杆滑动连接在机架上，所述吸水垫固定连接...
【技术保护点】
1.一种蚀刻液循环装置，包括机架(101)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的蚀刻液循环装置，其特征在于，所述偏心轮(204)另一侧轴心处固定连接有轮轴(205)，所述轮轴(205)上固定连接有蜗轮(206)，所述蜗轮(206)与蜗杆(207)啮合连接。
3.根据权利要求2所述的蚀刻液循环装置，其特征在于，所述蜗杆(207)固定连接在主轴(208)上，所述主轴(208)与机架(101)转动连接，所述主轴(208)上传动连接有皮带(209)，所述皮带(209)的另一端与往复丝杆(301)传动连接。
4.根据权利要求3所述的...
【技术特征摘要】
1.一种蚀刻液循环装置，包括机架(101)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的蚀刻液循环装置，其特征在于，所述偏心轮(204)另一侧轴心处固定连接有轮轴(205)，所述轮轴(205)上固定连接有蜗轮(206)，所述蜗轮(206)与蜗杆(207)啮合连接。
3.根据权利要求2所述的蚀刻液循环装置，其特征在于，所述蜗杆(207)固定连接在主轴(208)上，所述主轴(208)与机架(101)转动连接，所述主轴(208)上传动连接有皮带(209)，所述皮带(209)的另一端与往复丝杆(301)传动连接。
4.根据权利要求3所述的蚀刻液循环装置，其特征在于，所述往复丝杆(301)与机架(101)转动连接，所述往复丝杆(301)的另一端与电机(302)的输出轴固定连接，所述电机(302)与机架(101)固定连接。
【专利技术属性】
技术研发人员：郑庆靓，汤茂林，刘贵福，李洋，
申请(专利权)人：拓维光电材料滁州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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