一种连续真空蒸镀设备制造技术

本技术公开一种连续真空蒸镀设备，包括依次连通的第一中转腔体、N个依次连通的工艺腔体和第二中转腔体，N个依次连通的工艺腔体包括第一工艺腔体至第N工艺腔体，相邻的两个工艺腔体之间设置有工艺门阀，每个工艺腔体被配置为用于不同的蒸镀工艺；第一中转腔体和第一工艺腔体之间设置有第一中转门阀，第一中转腔体设置有第一门阀；第二中转腔体和第N工艺腔体之间设置有第二中转门阀；所述第二中转腔体设置有第二门阀；第一中转腔体、第二中转腔体和每个工艺腔体内分别设置有带式输送机和真空泵，带式输送机用于承载并输送基材在各腔体之间流转，真空泵用于调节各腔体内的真空。本设备能连续真空蒸镀，提高蒸镀工艺效率，加快工艺进程。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸镀设备，尤其涉及一种连续真空蒸镀设备。

技术介绍

1、现有小型蒸镀设备(适用于基材尺寸较小，例如300mmx300mm或者更小尺寸)采用三腔体蒸镀模式，分别是进料腔体、运输腔体和工艺腔体，在对基材(包括但不限于晶圆)进行蒸镀工艺时，通过人工将多片基材安装在进料腔体内的固定托盘上，这个过程耗时约5分钟，关闭进料腔体的腔体门抽真空完成后，运输腔体内的机械手按照设定程序从进料腔体中托取固定托盘上的基材(单次工艺每次一片)，并将基材放入工艺腔体内，此过程机械手工作耗时约8分钟，工艺腔体对基材进行蒸镀，工艺完成后，运输腔体内的机械手将基材运回进料腔体内的固定托盘上，此过程机械手工作耗时约8分钟，进料腔体破真空后取出基材，至此单次蒸镀工艺完成。

2、综上，在小型蒸镀设备对基材进行蒸镀工艺时，采用批次进料，机械手按照单片托取，存在不能连续生产的问题，导致蒸镀工艺时间加长，以至影响整个工艺进程。

3、本技术用于解决上述问题中的至少一个问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于解决现有小型蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求1所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求2或3所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，所述第一区(9)、所述第一中转腔体(4)、N个依次连通的工艺腔体、所述第二中转腔体(5)、所述第二区(10)呈直线形排列。

5.根据权利要求2或3所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，所述第一区(9)的带式输送机(8)能放置有第一搁架(13)，所述第一搁架(13)包括：

<p>6.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求1所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求2或3所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，所述第一区(9)、所述第一中转腔体(4)、n个依次连通的工艺腔体、所述第二中转腔体(5)、所述第二区(10)呈直线形排列。

5.根据权利要求2或3所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，所述第一区(9)的带式输送机(8)能放置有第一搁架(13)，所述第一搁架(13)包括：

6.根据权利要求2或3所述的一种连续真空蒸镀设备，其特征在于，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：德沪涂膜设备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：