下载一种连续真空蒸镀设备的技术资料

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本技术公开一种连续真空蒸镀设备,包括依次连通的第一中转腔体、N个依次连通的工艺腔体和第二中转腔体,N个依次连通的工艺腔体包括第一工艺腔体至第N工艺腔体,相邻的两个工艺腔体之间设置有工艺门阀,每个工艺腔体被配置为用于不同的蒸镀工艺;第一中转腔...
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