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本技术公开了一种蚀刻液循环装置以及具有该装置的蚀刻设备，包括机架，还包括：推杆组件，用于吸收工件上的蚀刻液；所述推杆组件，包括滑杆、吸水垫、推杆以及偏心轮，所述滑杆滑动连接在机架上，所述吸水垫固定连接在滑杆底部，所述推杆转动连接在偏心轮偏心...
该专利属于拓维光电材料（滁州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓维光电材料（滁州）有限公司授权不得商用。

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