一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种高压液体环境激光裂片晶锭分离方法及装置。晶锭置于高压液体中超声。将经过激光裂片处理的晶锭置于高压液体中，通过超声波作用促进晶锭裂片产生的微裂纹扩展，完成晶圆分离。本发明专利技术的高压液体环境提供了更高的能量传递效率，并增强了超声波的空化效应，提升了晶圆的分离效率。另外，在高压液体环境中，液体渗透裂纹后，结合超声波的作用，能够在裂纹的起点和端部均匀施加能量，确保裂纹的扩展更加均匀；这样均匀扩展不仅提高了裂片效果，也使得晶圆的整体分离质量提高。综合以上效果，本发明专利技术在晶圆加工技术领域具有良好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于晶圆加工，具体涉及一种高压液体环境激光裂片晶锭分离方法及装置。

技术介绍

1、随着半导体产业的快速发展，对晶圆等材料的切割精度和分离效率的要求越来越高。激光裂片技术作为一种先进的加工技术，通过激光作用在晶锭材料上，产生局部裂纹，从而实现晶锭的初步分割。尽管激光裂片可以产生精确的裂片路径，但是这些裂片不会直接使材料分离。裂片形成的裂纹仍需要进一步扩展和处理才能实现晶锭的完全分离。通常需要采用后续的物理方法来辅助完成分离，其中超声波处理技术是一种常见且有效的手段。

2、超声波分离技术通过将高频超声波作用于液体介质，并利用超声波传播时产生的空化效应和微流动效应，促使裂片后的晶锭材料分层。在液体介质中，超声波的空化效应产生大量的微气泡，这些气泡在生长和崩溃过程中释放出局部的高能量冲击波，作用在裂片的微裂纹处，加速裂纹的扩展。此外，超声波在液体中的传播还能引起局部流动和振动，从而进一步削弱晶锭各层之间的结合力，促使分层或分离的发生。

3、在实际应用中，由于激光裂片产生的裂纹虽然精细，但并不是完全贯穿晶锭的，裂纹的深度和路径仅为初本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法，其特征在于：晶锭置于高压液体中超声。

2.如权利要求1所述的高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法，其特征在于：所述液体为水。

3.如权利要求2所述的高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法，其特征在于：所述高压范围为0.1MPa至5.0MPa。

4.如权利要求3所述的高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法，其特征在于：超声波方向垂直于晶锭表面。

5.一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离装置，其特征在于：包括高压水槽、超声波换能器、样品入口、顶盖、液体入口、液体出口和高压液泵，所述样品入口设置在所述高压...

【技术特征摘要】

1.一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法，其特征在于：晶锭置于高压液体中超声。

2.如权利要求1所述的高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法，其特征在于：所述液体为水。

3.如权利要求2所述的高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法，其特征在于：所述高压范围为0.1mpa至5.0mpa。

4.如权利要求3所述的高压液体环境激光裂片晶锭超声分离方法，其特征在于：超声波方向垂直于晶锭表面。

5.一种高压液体环境激光裂片晶锭超声分离装置，其特征在于：包括高压水槽、超声波换能器、样品入口、顶盖、液体入口、液体出口和高压液泵，所述样品入口设置在所述高压水槽的顶部，所述样品入口上设有所述顶盖，所述液体入口和所述液体出口设置在所述高压水槽的侧面，所述液体入口联通所述高压液泵，所述液体入口和所述液体出口设有阀门，...

【专利技术属性】
技术研发人员：施龙献，许建强，曹象伟，
申请(专利权)人：北京晶飞半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：