【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子束蒸发镀装置，具体涉及一种大功率电子束镀膜设备。
技术介绍
1、电子束蒸发镀是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中，直接利用电子束加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜，是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。随着镀膜材料的多样化，镀膜表面要求越来越高，大功率电子束蒸发镀膜具有更多优势，它克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点，特别适合制作高熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
2、但是，现有的电子束镀膜装置存在以下缺点：1.蒸发炉加强筋设置为凸出水套盖板，这样腔室外壳因加强筋凸出，造成腔室外壳不是平整的，而是被分成若干大小不等的块，既不美观且浪费材料；而且，由于加强筋凸出，造成外水套被分割成若干大小不等的部分，增加了焊接工作量，存在焊接变形大，焊缝漏水风险大等问题；2.蒸发炉中的两个坩埚的冷却系统是相对独立的，安装复杂、且不方便维护和保养；3.坩埚和坩埚水套采用上螺栓连接，坩埚上表面有螺栓突起，在电子束扫描时存在安全隐患。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问...
【技术保护点】
1.一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，包括安装基体、蒸发炉系统、水冷坩埚系统、电子枪系统、送料系统、抽真空系统、控制系统、供电系统、以及电控系统；
2.根据权利要求1所述的一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，所述炉门本体包括第二内壁、第二外壁和设置于所述第二内壁和第二外壁之间的多个第二加强筋板，所述第二内壁与第二外壁之间形成第二冷却腔，所述多个第二加强筋板将所述第二冷却腔隔成多条相互连通的冷却流道，所述第二外壁上设置有至少一个第二冷却水入口和至少一个第二冷却水出口。
3.根据权利要求1所述的一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，所述水冷坩...
【技术特征摘要】
1.一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，包括安装基体、蒸发炉系统、水冷坩埚系统、电子枪系统、送料系统、抽真空系统、控制系统、供电系统、以及电控系统；
2.根据权利要求1所述的一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，所述炉门本体包括第二内壁、第二外壁和设置于所述第二内壁和第二外壁之间的多个第二加强筋板，所述第二内壁与第二外壁之间形成第二冷却腔，所述多个第二加强筋板将所述第二冷却腔隔成多条相互连通的冷却流道，所述第二外壁上设置有至少一个第二冷却水入口和至少一个第二冷却水出口。
3.根据权利要求1所述的一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，所述水冷坩埚系统包括水冷套和至少一个坩埚，所述水冷套内部为连通的中空冷却腔体结构，所述水冷套上设置有第三冷却水入口和第三冷却水出口；所述水冷套上设置有至少一个上下贯通的坩埚容纳孔，所述坩埚设置于所述坩埚容纳孔内；所述坩埚的中心设置有贯穿的第一进料口。
4.根据权利要求3所述的一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，所述水冷坩埚系统还包括多个连接螺栓；所述坩埚容纳孔上开口的外周固定设置有安装环，所述安装环上设置有第一安装孔；所述坩埚的边缘设置于所述安装环的上方，所述坩埚边缘下表面与所述第一安装孔对应的位置设置有第二安装孔，所述第二安装孔为非贯穿孔；所述连接螺栓的一端从下向上穿过所述第一安装孔设置于所述第二安装孔内。
5.根据权利要求1所述的一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，所述蒸发炉本体的底部与坩埚中心的第一进料口对应的位置设置有第二进料口；所述蒸发炉系统还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：王征，李勍，陈俊，朱宝宏，邱昊辰，
申请(专利权)人：有研工程技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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