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本发明属于电子束蒸发镀装置技术领域，具体涉及一种大功率电子束镀膜设备，本装置的蒸发炉本体的炉壁为双层结构，将加强筋设置在炉壁和水套盖板之间，可以使得蒸发炉本体的外壳平整、美观，加强筋的设置既满足了腔室的强度要求，同时又能将第一冷却腔隔成多条...
该专利属于有研工程技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研工程技术研究院有限公司授权不得商用。

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