【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及监管数据传输管理，具体为一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法。
技术介绍
1、在半导体生产过程中，不同的生产阶段会使用到不同的生产设备，这些生产设备在半导体生产过程中需要定期进行检查和维护以保障设备的安全运行，进而保障半导体的安全生产；
2、然而，由于每次生产半导体的数量可能有所不同，前一生产阶段完成生产工序后过渡进入到后一阶段的时间因此也有所不同，在进入下一生产阶段需要使用到对应阶段的生产设备是，对应设备的最近一次检查时间可能已距当前时间很久，在设备使用前需要查看设备检查数据来判断设备能否安全运行，对于间隔时间过久上传到监管终端的检查数据，参考其来判断设备能否安全运行，容易降低判断结果的准确性，现有技术未在原有设备检查周期基础上，在必要情况下对设备检查时间，即上传检查数据时间进行预先干预以维持参考检查数据进行判断的结果准确性，无法降低参考检查数据后使用设备的设备故障概率。
3、所以，人们需要一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法来解决上述问题。
技术实现思
<本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述系统包括：生产数据采集模块、时间过渡预测模块、生产用设备数据分析模块和监管数据传输管理模块；
2.根据权利要求1所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述生产数据采集模块包括生产数量采集单元、完成时间采集单元和生产用设备信息采集单元；
3.根据权利要求2所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述时间过渡预测模块包括生产数据调取单元、时间预测模型建立单元和完成时间预测单元；
4.根据权利要求3所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统...
【技术特征摘要】
1.一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述系统包括：生产数据采集模块、时间过渡预测模块、生产用设备数据分析模块和监管数据传输管理模块；
2.根据权利要求1所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述生产数据采集模块包括生产数量采集单元、完成时间采集单元和生产用设备信息采集单元；
3.根据权利要求2所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述时间过渡预测模块包括生产数据调取单元、时间预测模型建立单元和完成时间预测单元；
4.根据权利要求3所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述生产用设备数据分析模块包括传输数据参考时间分析单元和设备故障概率分析单元；
5.根据权利要求4所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述监管数据传输管理模块包括重检判断单元和检查数据再传单元；
6.一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：在步骤z1中：采集到半导体以往每次生产时的历史生产数量集合为m＝{m1，m2，…，mr}，r表示半导体的历史生产次数，采集以往生产对应数量半导体时，每个生产阶段完成对应数量半导体生产工序花费的时间信息，采集每个生产阶段用于半导体生产的设备的检查信息，包括当前默认设置的设备检查周期、以往设置过的设备检查周期以及在对应检查周期下，因直接参考传输到生产监管终端的设备检查数据来判断设备是否能够正常运行，在得到判断结果后使用设备而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的次数信息。
8.根据权利要求7所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：在步骤z2中：获取到当前需要生产的半导体当前正处于第i个生产阶段，调取到以往生产集合m中对应数量半导体时，第i个生产阶段完成对应数量半导...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，汤小敏，付强，
申请(专利权)人：江苏满旺半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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