温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及监管数据传输管理技术领域,具体为一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法,包括:生产数据采集模块、时间过渡预测模块、生产用设备数据分析模块和监管数据传输管理模块,通过生产数据采集模块采集半导体历史生产信息和用于半导体生产的设备...该专利属于江苏满旺半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏满旺半导体科技股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及监管数据传输管理技术领域,具体为一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法,包括:生产数据采集模块、时间过渡预测模块、生产用设备数据分析模块和监管数据传输管理模块,通过生产数据采集模块采集半导体历史生产信息和用于半导体生产的设备...