【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密测量，涉及一种afm系统的垂直漂移补偿方法。
技术介绍
1、原子力显微镜(atomic force microscope，简称afm)，通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间作用力来研究物质表面结构与性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时针尖将与样品表面相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息。
2、由于机械振动和噪音干扰等因素对afm机台的影响，afm针尖与样品表面之间的距离变化量为afm漂移量的累加。一种操作方法是通过对图像手动选取位置进行拉平，具体方法为：任意选取检测样品上的两个位置，将检测图像或曲线上的该两个位置放置于同一高度，来消除漂移量，但这种方法因为拉平位置选取不同，导致反映的图像存在较大差异，无法反映真实形貌；另一种方法是利用视觉传感技术来进行校准，但这种方法精度不高，对结果准确性影响较大。
3、因此，如何对a...
【技术保护点】
1.一种AFM系统的垂直漂移补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的AFM系统的垂直漂移补偿方法，其特征在于：所述AFM系统包括悬臂梁、探针、激光发射器与光斑检测器，所述探针连接于所述悬臂梁的自由端，所述悬臂梁用于检测所述探针的针尖与样品表面之间的作用力，所述激光发射器用于出射激光至所述悬臂梁的自由端，所述光斑检测器用于检测所述悬臂梁反射的光斑的位置，其中，在测量样品表面终点检测点与初始检测点之间的相对高度时，对所述终点检测点与所述初始检测点采用相同的下针方式和相同的作用力值。
3.根据权利要求2所述的AFM系统的垂直漂移...
【技术特征摘要】
1.一种afm系统的垂直漂移补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的afm系统的垂直漂移补偿方法，其特征在于：所述afm系统包括悬臂梁、探针、激光发射器与光斑检测器，所述探针连接于所述悬臂梁的自由端，所述悬臂梁用于检测所述探针的针尖与样品表面之间的作用力，所述激光发射器用于出射激光至所述悬臂梁的自由端，所述光斑检测器用于检测所述悬臂梁反射的光斑的位置，其中，在测量样品表面终点检测点与初始检测点之间的相对高度时，对所述终点检测点与所述初始检测点采用相同的下针方式和相同的作用力值。
3.根据权利要求2所述的afm系统的垂直漂移补偿方法，其特征在于：通过与所述悬臂梁的固定端连接的压力传感器来检测所述探针的针尖与样品表面之间的作用力。
4.根据权利要求2所述的afm系统的垂直漂移补偿方法，其特征在于，测量样品表面终点检测点与初始检测点之间的相对高度包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的afm系统的垂直漂移补偿方法，其特征在于：采用公式d＝c’-c计算所述终点检测点与所述起始检测点在所述光斑检测器上的位置偏移量...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕朝龙，盖文超，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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