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本发明提供一种AFM系统的垂直漂移补偿方法，该方法按照预设路径在样品表面进行扫描，获取样品表面多个检测点的高度信息以形成初始扫描信息，并测量样品表面终点检测点与初始检测点之间的相对高度，基于该相对高度对初始扫描信息进行矫正以形成矫正扫描信息...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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