集成电路自动化换膜装置制造方法及图纸

本技术涉及集成电路换膜技术领域的集成电路自动化换膜装置，包括底板，所述底板上固定安装有换膜平台轨道，所述底板上固定安装有锁止扣组件，所述换膜平台轨道上滑动连接有换膜支架，所述换膜平台轨道包括外层轨道，所述外层轨道固定连接在底板上，所述底板上固定连接有内部轨道，所述外层轨道和内部轨道的一侧固定连接有限位块，所述锁止扣组件包括安装件，所述安装件固定安装在底板上。本技术通过自动锁止扣的设计，替代了定位柱的设计，避免了因人员疏忽而忘记插入定位柱的现象发生，避免了因换模支架未定位而发生滑落的风险，本技术在操作面提升了人员和模具的安全性，因此适合在车间推广使用，从而有效提升换膜操作的便利性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路换膜，尤其涉及集成电路自动化换膜装置。

技术介绍

1、集成电路换膜通常指的是在集成电路制造过程中，更换或移动用于特定工艺步骤的膜片或模具。这些膜片或模具可以是用于光刻过程的掩模板(photomasks)，或者用于其他工艺步骤如蚀刻、沉积等的模具。换膜过程对于保持生产效率和产品质量至关重要，因为不同的工艺步骤可能需要不同的膜片或模具。但目前的技术需要操作人员手动插入定位柱来固定换模架，这种手动操作依赖于操作人员的注意力和准确性，容易出错。如果操作人员忘记插入定位柱，换模架在运输过程中可能会发生滑动或掉落，这不仅会导致模具损坏，还可能对人员安全构成威胁。手动插入定位柱的过程会降低换膜的效率，尤其是在高产量的生产环境中，这种低效率可能会导致生产延迟。手动操作还可能涉及到安全性问题，特别是在需要频繁更换模具的大型生产环境中，频繁的手动操作增加了事故的风险。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的集成电路自动化换膜装置。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.集成电路自动化换膜装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上固定安装有换膜平台轨道(2)，所述底板(1)上固定安装有锁止扣组件(3)，所述换膜平台轨道(2)上滑动连接有换膜支架(4)，所述换膜平台轨道(2)包括外层轨道(21)，所述外层轨道(21)固定连接在底板(1)上，所述底板(1)上固定连接有内部轨道(22)，所述外层轨道(21)和内部轨道(22)的一侧固定连接有限位块(23)，所述锁止扣组件(3)包括安装件(31)，所述安装件(31)固定安装在底板(1)上，所述安装件(31)中转动连接有锁止卡扣(32)，所述锁止卡扣(32)为L型，所述锁止卡扣(32)上设置有弧形段(3...

【技术特征摘要】

1.集成电路自动化换膜装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上固定安装有换膜平台轨道(2)，所述底板(1)上固定安装有锁止扣组件(3)，所述换膜平台轨道(2)上滑动连接有换膜支架(4)，所述换膜平台轨道(2)包括外层轨道(21)，所述外层轨道(21)固定连接在底板(1)上，所述底板(1)上固定连接有内部轨道(22)，所述外层轨道(21)和内部轨道(22)的一侧固定连接有限位块(23)，所述锁止扣组件(3)包括安装件(31)，所述安装件(31)固定安装在底板(1)上，所述安装件(31)中转动连接有锁止卡扣(32)，所述锁止卡扣(32)为l型，所述锁止卡扣(32)上设置有弧形段(33)，所述锁止卡扣(32)上设置有直角卡钩(34)，所述锁止卡扣(32)的上方固定连接有提拉块(35)。

2.根据权利要求1所述的集成电路自动化换膜装置，其特征在于：所述换膜支架(4)包括支架安装板(41)，所述支架安装板(41)在外层轨道(21)和内部轨道(22)上滑动，所述支架安装板(41)上固定连接有支架侧板(42)，所述支架侧板(42)设有两个，所述支架侧板(42)上固定连接有拉手(43)，所述支架侧板(42)上开设有观察窗(44)，所述支架侧板(42)之间固定连接有下层支架(45)，所述支架侧板(42)之间固定连接有上层支架(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘扬，张国富，
申请(专利权)人：日月新半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：