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本技术涉及集成电路换膜技术领域的集成电路自动化换膜装置，包括底板，所述底板上固定安装有换膜平台轨道，所述底板上固定安装有锁止扣组件，所述换膜平台轨道上滑动连接有换膜支架，所述换膜平台轨道包括外层轨道，所述外层轨道固定连接在底板上，所述底板上...
该专利属于日月新半导体（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日月新半导体（苏州）有限公司授权不得商用。

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