一种预植铜柱基板的巨量转移方法技术

技术编号:46616320 阅读:2 留言:0更新日期:2025-10-14 21:12
本发明专利技术公开了一种预植铜柱基板的巨量转移方法,包括制备预植板,所述预植板包括在不锈钢板上设置离型剂,在离型剂上方形成多组铜柱;通过在不锈钢板上涂抹离型剂制成预植板,并采用干膜电镀工艺形成多组铜柱,可精确控制铜柱的位置、高度及排列密度,工艺确保铜柱在基板焊垫区的定位误差极小,解决了传统巨量转移中引脚偏移、高度不均导致的接触不良问题,显著提升封装良率。本发明专利技术属于预植铜柱基板的巨量转移方法领域,具体是指一种预植铜柱基板的巨量转移方法;本发明专利技术解决了多道复杂工序,设备调试与操作繁琐,导致生产效率低下的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于预植铜柱基板的巨量转移方法,具体是指一种预植铜柱基板的巨量转移方法。


技术介绍

1、在先进封装领域,引脚的精准转移与可靠连接是保障芯片性能和封装质量的关键技术。目前,行业内普遍采用单根针或单颗模组的smt转移方式来实现基板与引脚的互连。然而,这种传统方法存在诸多局限性:一方面,其对引脚尺寸要求严苛,通常针的直径需≥200um,长径比小于1:1.5,难以满足高密度互连的发展趋势;另一方面,smt转移过程需经历多道复杂工序,设备调试与操作繁琐,导致生产效率低下。

2、更为关键的是,smt转移对引脚排列精度要求极高,引脚排列公差与smt设备贴片的综合公差需控制在<15um,任何细微偏差都可能导致引脚偏移、高度不均,进而引发接触不良等问题,致使封装良率低下。同时,复杂的工艺和高精度设备的使用,大幅推高了生产成本。

3、随着半导体产业向小型化、高性能化方向发展,晶圆级等先进封装技术对引脚转移工艺提出了更高要求。本专利技术提出的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,通过在金属载板上预植铜柱(也可电镀其它材质),并结合干膜电镀、离型剂处理本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

4.根据权利要求2所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

5.根据权利要求4所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

6.根据权利要求5所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

7.根据权利要求2所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

8.根据权利要求1所述的一种预植铜柱基板...

【技术特征摘要】

1.一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

4.根据权利要求2所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

5.根据权利要求4所述的一种预植铜柱基板的巨量转移方法,其特征在于:

6.根据权利要求5所述的一种预...

【专利技术属性】
技术研发人员:张生
申请(专利权)人:日月新半导体苏州有限公司
类型:发明
国别省市:

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