【技术实现步骤摘要】
本技术涉及尾气处理领域，具体涉及一种多级尾气处理装置及化学气相沉积设备。
技术介绍
1、化学气相沉积(cvd)设备通过在反应室中通入反应气体，反应气体在衬底表面反应，从而形成薄膜。在生长薄膜的过程中，反应室内会产生大量的尾气，尾气中经常包含有毒物质(如氯化镓)和颗粒物，因此，需要对尾气进行过滤处理。
2、现有技术中，化学气相沉积设备的尾气处理装置通常包括冷却装置和过滤装置，其中冷却装置用于降低尾气的温度，使其中部分物质凝华成固体颗粒，然后再通过过滤装置除去颗粒物。
3、然而，现有的尾气处理装置降温效果不佳，装置内部温度分布不均匀，导致尾气中的部分物质达不到凝华的温度，尾气处理的不彻底。另外，现有的尾气处理装置体积过大，且不方便清理。
4、需要说明的是，上述
技术介绍
的内容仅用于更清楚地阐述本技术的技术方案，并不必然构成现有技术。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种多级尾气处理装置及化学气相沉积设备，以解决上述的技术问题中的至少一个。
2、...
【技术保护点】
1.一种多级尾气处理装置，其特征在于，所述多级尾气处理装置包括自上而下可拆卸层叠的顶盖板、冷却装置和第一过滤装置，所述顶盖板设有进气口，所述冷却装置和第一过滤装置之间设有隔板，所述隔板包括连通所述冷却装置和第一过滤装置的第一通孔；
2.如权利要求1所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述顶板通过连接件固定在所述顶盖板上。
3.如权利要求1所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述中空立柱固定在所述隔板上。
4.如权利要求1所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述冷却管道内通有循环冷却液，所述循环冷却液的温度为-25℃～0℃。
<...【技术特征摘要】
1.一种多级尾气处理装置，其特征在于，所述多级尾气处理装置包括自上而下可拆卸层叠的顶盖板、冷却装置和第一过滤装置，所述顶盖板设有进气口，所述冷却装置和第一过滤装置之间设有隔板，所述隔板包括连通所述冷却装置和第一过滤装置的第一通孔；
2.如权利要求1所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述顶板通过连接件固定在所述顶盖板上。
3.如权利要求1所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述中空立柱固定在所述隔板上。
4.如权利要求1所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述冷却管道内通有循环冷却液，所述循环冷却液的温度为-25℃～0℃。
5.如权利要求4所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述冷却装置的冷却装置外侧壁的温度低于35℃。
6.如权利要求1所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述冷却管道至少包括外圈冷却管道和内圈冷却管道。
7.如权利要求6所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述侧板位于所述外圈冷却管道和内圈冷却管道之间，所述中空立柱设置在所述内圈冷却管道的内侧。
8.如权利要求7所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述侧板的内侧设有内翅片，所述侧板的外侧设有外翅片。
9.如权利要求8所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述中空立柱的外侧设有立柱翅片。
10.如权利要求9所述的多级尾气处理装置，其特征在于，所述冷却装置的冷却装置外侧壁的内侧设有翅片。
11.如权利要求9所述的多级尾气处理装置，其特征在于，在水平方向上，所述外翅片的边缘与所述外圈冷却管道的边缘之间的最小距离为d1，所述内翅片的边缘与所述内圈冷却管道的边缘之间的最小距离为d2，所述立柱翅片的边缘与所述内圈冷却管道的边缘之间的最小距离为d3...
【专利技术属性】
技术研发人员：王家毅，姜勇，郑振宇，张鹏，郭世平，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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