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本技术公开了一种多级尾气处理装置，多级尾气处理装置包括自上而下可拆卸层叠的顶盖板、冷却装置和过滤装置，顶盖板设有进气口，冷却装置和过滤装置之间设有隔板，隔板包括连通冷却装置和过滤装置的第一通孔；冷却装置的冷却腔内包括“冂”形的挡板、冷却管道...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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