加热机构、镀膜设备以及导电膜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种加热机构、镀膜设备以及导电膜的制备方法。该加热机构包括加热主体和加热容器。加热主体上具有多个间隔设置的加热槽，一部分加热槽形成第一加热区域，另一部分加热槽形成第二加热区域；加热容器包括多个，多个加热容器一一对应地设置于多个加热槽内。其中，第一加热区域的加热容器的温度为T1，第二加热区域的加热容器的温度为T2，T1、T2之间满足关系式：|T1‑T2|≥100℃。本发明专利技术可以解决现有技术中的蒸镀源不能同时对不同的蒸镀材料进行加热蒸发的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄膜加工，具体而言，涉及一种加热机构、镀膜设备以及导电膜的制备方法。

技术介绍

1、导电膜是一种表面镀设有金属的一种高分子材料，广泛运用于锂离子电池中，在锂离子电池中主要作为集流体使用。导电膜上的镀层可采用真空蒸发镀膜工艺和/或磁控溅射工艺镀设获得。其中，真空蒸发镀膜是指在真空环境中，将待成膜物质加热蒸发或升华后，使其在导电膜表面凝结或沉积，以形成镀层的工艺。待成膜物质在蒸镀坩埚内部加热蒸发或升华后，上升并通过蒸镀坩埚上方的蒸镀出口发出，蒸发出的待成膜物质离开蒸镀坩埚后逐渐降温，最终在导电膜的表面沉积形成膜层。

2、现有的真空蒸发镀膜技术中，通常采用掺杂蒸镀的方式来蒸镀同一膜层，即采用至少两种具有不同蒸镀材料的蒸镀源，同时对导电膜的表面进行蒸镀。由于不同蒸镀材料的熔点不同，对于熔点较高的蒸镀材料需使蒸镀源向蒸镀材料提供较高的热蒸发温度，对于熔点较低的蒸镀材料需使蒸镀源向蒸镀材料提供较低的热蒸发温度。

3、然而，现有技术中的蒸镀源上各处加热温度均相同，对于具有熔点差异的蒸镀材料需采用不同蒸镀源进行单独的加热蒸发，导致蒸镀本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加热机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的加热机构，其特征在于，所述第一加热区域(60)的所述加热槽(11)与所述加热容器(20)之间的接触面积小于所述第二加热区域(70)的所述加热槽(11)与所述加热容器(20)之间的接触面积。

3.根据权利要求2所述的加热机构，其特征在于，所述第一加热区域(60)的所述加热槽(11)的横截面积小于所述第二加热区域(70)的所述加热槽(11)的横截面积。

4.根据权利要求2所述的加热机构，其特征在于，所述加热槽(11)的横截面包括圆形、三角形、方形或者梯形。

5.根据权利要求2所述的加...

【技术特征摘要】

1.一种加热机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的加热机构，其特征在于，所述第一加热区域(60)的所述加热槽(11)与所述加热容器(20)之间的接触面积小于所述第二加热区域(70)的所述加热槽(11)与所述加热容器(20)之间的接触面积。

3.根据权利要求2所述的加热机构，其特征在于，所述第一加热区域(60)的所述加热槽(11)的横截面积小于所述第二加热区域(70)的所述加热槽(11)的横截面积。

4.根据权利要求2所述的加热机构，其特征在于，所述加热槽(11)的横截面包括圆形、三角形、方形或者梯形。

5.根据权利要求2所述的加热机构，其特征在于，沿所述加热主体(10)的厚度方向，所述加热槽(11)的横截面积自上而下逐渐减小或不变。

6.根据权利要求2所述的加热机构，其特征在于，沿所述加热主体(10)的厚度方向，所述第一加热区域(60)的所述加热槽(11)的深度小于所述第二加热区域(70)的所述加热槽(11)的深度。

7.根据权利要求2所述的加热机构，其特征在于，所述第一加热区域(60)的所述加热槽(11)的底部与所述加热容器(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：