断面钝化料盒以及断面钝化设备制造技术

技术编号:43972830 阅读:26 留言:0更新日期:2025-01-10 20:00
本公开涉及光伏技术领域,具体涉及一种断面钝化料盒以及断面钝化设备,解决了现有的工艺料盒应用于硅片断面的钝化工艺处理时,容易导致已处理过的表面再次钝化的问题。本公开的断面钝化料盒包括:盒体组件、盒盖组件和挡板。在进行钝化工艺时,钝化气体从挡板与盒体组件之间的间隙进入后,可以与片状材料的待钝化的侧边接触进行钝化,由于盒盖组件覆盖顶部的片状材料的上表面,盒体组件遮挡底部的片状材料的下表面,钝化气体难以与片状材料的非待钝化的上下表面接触,避免了片状材料的非待钝化的上下表面被钝化。盒体组件还能遮挡片状材料的非待钝化的侧边,降低了片状材料的非待钝化的侧边接触钝化气体的概率。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光伏,具体涉及一种断面钝化料盒以及断面钝化设备


技术介绍

1、在光伏行业中,原子层沉积(ald,atomic layer deposition)设备是制造太阳能电池的关键设备。传统的ald设备主要用于对整片硅片表面进行工艺加工,而在硅片经过激光裂片后,两个半片的未经工艺处理的断面会暴露出来,这些未经处理的断面可能导致硅片表面质量下降,增加硅片表面的反射率,减少光的吸收效率,以及断面可能会形成局部的电荷捕获中心,影响光伏电池的电子传输和能量转换效率,从而影响光伏电池的性能和效率。因此,亟需一种适配硅片断面钝化工艺的料盒,以对硅片的断面进行钝化处理。


技术实现思路

1、有鉴于此,本公开实施例提供了一种断面钝化料盒以及断面钝化设备,解决了现有的工艺料盒应用于硅片断面的钝化工艺处理时,容易导致已处理过的表面再次钝化的问题。

2、第一方面,本公开的实施例提供了一种断面钝化料盒,应用于片状材料的钝化工艺,断面钝化料盒包括:盒体组件,具有容纳腔、设置于顶部的第一开口和设置于侧面的第二开口,容纳腔被配本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种断面钝化料盒,其特征在于,应用于片状材料的钝化工艺,所述断面钝化料盒包括:

2.根据权利要求1所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒体组件具有螺纹孔,所述挡板具有第一通孔;

3.根据权利要求1所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述间隙的宽度范围为0.2毫米至1毫米。

4.根据权利要求1或2所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒体组件包括:

5.根据权利要求1或2所述的断面钝化料盒,其特征在于,还包括:

6.根据权利要求5所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒盖组件位于所述盒体组件的上方,所述卡扣组件包括

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【技术特征摘要】

1.一种断面钝化料盒,其特征在于,应用于片状材料的钝化工艺,所述断面钝化料盒包括:

2.根据权利要求1所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒体组件具有螺纹孔,所述挡板具有第一通孔;

3.根据权利要求1所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述间隙的宽度范围为0.2毫米至1毫米。

4.根据权利要求1或2所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒体组件包括:

5.根据权利要求1或2所述的断面钝化料盒,其特征在于,还包括:

6.根据权利要求5所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒盖...

【专利技术属性】
技术研发人员:汪滢董雪迪李勃林佳继
申请(专利权)人:拉普拉斯无锡半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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