【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光伏,具体涉及一种断面钝化料盒以及断面钝化设备。
技术介绍
1、在光伏行业中,原子层沉积(ald,atomic layer deposition)设备是制造太阳能电池的关键设备。传统的ald设备主要用于对整片硅片表面进行工艺加工,而在硅片经过激光裂片后,两个半片的未经工艺处理的断面会暴露出来,这些未经处理的断面可能导致硅片表面质量下降,增加硅片表面的反射率,减少光的吸收效率,以及断面可能会形成局部的电荷捕获中心,影响光伏电池的电子传输和能量转换效率,从而影响光伏电池的性能和效率。因此,亟需一种适配硅片断面钝化工艺的料盒,以对硅片的断面进行钝化处理。
技术实现思路
1、有鉴于此,本公开实施例提供了一种断面钝化料盒以及断面钝化设备,解决了现有的工艺料盒应用于硅片断面的钝化工艺处理时,容易导致已处理过的表面再次钝化的问题。
2、第一方面,本公开的实施例提供了一种断面钝化料盒,应用于片状材料的钝化工艺,断面钝化料盒包括:盒体组件,具有容纳腔、设置于顶部的第一开口和设置于侧面的
...【技术保护点】
1.一种断面钝化料盒,其特征在于,应用于片状材料的钝化工艺,所述断面钝化料盒包括:
2.根据权利要求1所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒体组件具有螺纹孔,所述挡板具有第一通孔;
3.根据权利要求1所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述间隙的宽度范围为0.2毫米至1毫米。
4.根据权利要求1或2所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒体组件包括:
5.根据权利要求1或2所述的断面钝化料盒,其特征在于,还包括:
6.根据权利要求5所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒盖组件位于所述盒体组件的上方,所述卡扣组件包括
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【技术特征摘要】
1.一种断面钝化料盒,其特征在于,应用于片状材料的钝化工艺,所述断面钝化料盒包括:
2.根据权利要求1所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒体组件具有螺纹孔,所述挡板具有第一通孔;
3.根据权利要求1所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述间隙的宽度范围为0.2毫米至1毫米。
4.根据权利要求1或2所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒体组件包括:
5.根据权利要求1或2所述的断面钝化料盒,其特征在于,还包括:
6.根据权利要求5所述的断面钝化料盒,其特征在于,所述盒盖...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪滢,董雪迪,李勃,林佳继,
申请(专利权)人:拉普拉斯无锡半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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