本发明专利技术提供了一种MEMS传感器的检测工装及MEMS传感器的检测设备，属于测试领域，其中包括旋转组件和振动组件，旋转组件包括能绕自身轴线转动的旋转轴，MEMS传感器设于所述旋转轴，并位于所述旋转轴直径方向上的一侧；振动组件，包括第二振动台和设于第二振动台的固定框，所述固定框能随所述旋转轴的转动而沿所述旋转轴的轴线往复振动，所述旋转轴的端部可转动安装于所述固定框，且所述固定框能带动所述旋转轴沿自身轴线往复振动。与现有技术相比，本发明专利技术中的通过振动组件和旋转组件的相互配合，能够在使传感器沿着轴线振动的同时，也能够绕着轴线转动，从而更为有效地对不合格的传感器进行剔除，解决现有的检测设备无法对不合格的产品进行有效筛除的技术问题。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于力的测试领域，更具体地说，是涉及一种mems传感器的检测工装，本专利技术还涉及一种mems传感器的检测设备。
技术介绍
1、mems是英文micro electro mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(mems)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的 21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。
2、微机械陀螺仪均采用振动物体传感角速度的概念。利用振动来诱导和探测科里奥利力而设计的微机械陀螺仪没有旋转部件、不需要轴承，微机械陀螺仪用于测量汽车的旋转速度（转弯或者打滚），它与低加速度计一起构成主动控制系统。所谓主动控制系统就是一旦发现汽车的状态异常，系统在车祸尚未发生时及时纠正这个异常状态或者正确应对个异常状态以阻止车祸的发生。比如在转弯时本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种MEMS传感器的检测工装，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的MEMS传感器的检测工装，其特征在于，所述旋转组件（1）还包括安装板（12），所述安装板（12）设于所述旋转轴（11），所述安装板（12）用于安装待检测的MEMS传感器（3）。
3.如权利要求1所述的MEMS传感器的检测工装，其特征在于，所述振动组件（2）还包括定位环（22），所述定位环（22）与所述旋转轴（11）同轴，且所述定位环（22）顶部与所述固定框（21）固定连接，底部套设于所述旋转轴（11）的外周，且所述旋转轴（11）与所述定位环（22）转动适配。
>4.如权利要求3所...
【技术特征摘要】
1.一种mems传感器的检测工装，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述旋转组件（1）还包括安装板（12），所述安装板（12）设于所述旋转轴（11），所述安装板（12）用于安装待检测的mems传感器（3）。
3.如权利要求1所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述振动组件（2）还包括定位环（22），所述定位环（22）与所述旋转轴（11）同轴，且所述定位环（22）顶部与所述固定框（21）固定连接，底部套设于所述旋转轴（11）的外周，且所述旋转轴（11）与所述定位环（22）转动适配。
4.如权利要求3所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述振动组件（2）还包括设于所述第二振动台（29）顶部的第一振动台（23），所述固定框（21）沿上下方向可移动地设于所述第一振动台（23）顶部，所述旋转轴（11）可转动地设于所述第一振动台（23）。
5.如权利要求4所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述旋转组件（1）还包括驱动电机（13），所述驱动电机（13）沿上下方向滑动设置于第二振动台（29），所述驱动电机（13）用于驱动所述旋转轴（11）转动，并能带动所述第一振动台（23）沿旋转轴（11）的轴向振动。
6.如权利要求5所述的mems传感...
【专利技术属性】
技术研发人员：南耀仕，李正伟，乜恺，杨凤霞，姚世婷，卢倩，
申请(专利权)人：河北美泰电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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