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本发明提供了一种MEMS传感器的检测工装及MEMS传感器的检测设备，属于测试领域，其中包括旋转组件和振动组件，旋转组件包括能绕自身轴线转动的旋转轴，MEMS传感器设于所述旋转轴，并位于所述旋转轴直径方向上的一侧；振动组件，包括第二振动台和设...
该专利属于河北美泰电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北美泰电子科技有限公司授权不得商用。

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