一种抗过载惯性测量单元及其封装方法技术

本发明专利技术提供一种抗过载惯性测量单元及其封装方法，涉及MEMS封装技术领域。该惯性测量单元包括：壳体内水平设置相互隔离的第一腔和第二腔；第一腔内设有刚性载体和多个弹性减震垫；各弹性减震垫环绕刚性载体，设置在刚性载体与第一腔的侧壁之间；刚性载体的纵截面为开口朝向壳盖的凹形；MEMS芯片和数字电路柔性电连接；MEMS芯片采用灌封胶灌封在刚性载体的凹形开口内；数字电路采用灌封胶灌封在第二腔的底部；弹性减震垫的硬度小于灌封胶的硬度。本发明专利技术通过对MEMS惯性测量器件进行划分，仅对体积小、冲击敏感的MEMS芯片采用弹性减震垫和刚性载体结合的抗过载设计，在实现高抗过载的同时减小惯性测量单元体积。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及mems封装，尤其涉及一种抗过载惯性测量单元及其封装方法。

技术介绍

1、惯性测量单元(inertial measurement unit，imu)是一种能够测量物体加速度、角速度或重力场的微型电子设备，是惯性导航系统(ins)的核心组件。惯性测量单元一般将mems电路封装在壳体中制成。抗过载惯性测量单元应用于高过载、强冲击的场景，对可靠性的要求较高。例如，应用于飞行载具时，载具发射瞬间的冲击较大，惯性测量单元需承受瞬间强冲击。另一方面，惯性测量单元的体积应当尽量小，以满足小型化需求。

2、现有抗过载惯性测量单元为了抗过载，通常增加减振结构。例如在mems电路与外壳之间增加内部减振器，mems电路与外壳之间不直接接触，通过内部减振器吸收强冲击。内部减振器通常为弹性材料，有利于吸收冲击，体积较大。再例如，还可在惯性测量单元的外部增加外部减振器，增加了外形尺寸。由此，无论是内部还是外部减振器，都会大幅增加惯性测量单元所占用的体积。

技术实现思路

1、本专利技术实施例提供了一种抗过载惯性测本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种抗过载惯性测量单元，其特征在于，包括：壳体、壳盖和MEMS惯性测量器件；所述壳盖覆盖在壳体顶部的开口处；

2.如权利要求1所述的抗过载惯性测量单元，其特征在于，所述弹性减震垫的纵截面为匚形；所述弹性减震垫的匚形开口方向朝向刚性载体，且刚性载体的侧面卡在匚形开口内；

3.如权利要求1所述的抗过载惯性测量单元，其特征在于，还包括：柔性电路板；所述柔性电路板用于柔性电连接MEMS芯片和数字电路；

4.如权利要求1所述的抗过载惯性测量单元，其特征在于，还包括多个螺纹盲孔；所述螺纹盲孔用于惯性测量单元的固定安装；

5.一种抗过载惯性测量单元的...

【技术特征摘要】

1.一种抗过载惯性测量单元，其特征在于，包括：壳体、壳盖和mems惯性测量器件；所述壳盖覆盖在壳体顶部的开口处；

2.如权利要求1所述的抗过载惯性测量单元，其特征在于，所述弹性减震垫的纵截面为匚形；所述弹性减震垫的匚形开口方向朝向刚性载体，且刚性载体的侧面卡在匚形开口内；

3.如权利要求1所述的抗过载惯性测量单元，其特征在于，还包括：柔性电路板；所述柔性电路板用于柔性电连接mems芯片和数字电路；

4.如权利要求1所述的抗过载惯性测量单元，其特征在于，还包括多个螺纹盲孔；所述螺纹盲孔用于惯性测量单元的固定安装；

5.一种抗过载惯性测量单元的封装方法，其特征在于，应用于封装如权利要求1至4中任一所述的抗过载惯性测量单元；所述方法包括：

6.如权利要求5所述的抗过载惯...

【专利技术属性】
技术研发人员：南耀仕，乜恺，李正伟，金明路，郑鹏飞，周长满，冯楠，李佩温，
申请(专利权)人：河北美泰电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：