【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆生产调度技术，特别是一种含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法。
技术介绍
1、在晶圆制造车间中，有一批独立的工件需要在多台机器上进行加工。每个工件只需要经过一道工序，但这个工序会经历多个不同阶段，每个阶段具有不同的加工时间和功率需求。加工完成的工件需要在冷却区进行冷却，冷却区的容量有限。车间内配备有两种类型的机械手：一台大气机械手和两台真空机械手。大气机械手负责将待加工工件从入口处搬运到真空机械手，真空机械手再将工件搬运到机器上进行加工。加工完成后，也会由同一个真空机械手将工件移至冷却区，并由大气机械手最终将冷却完成的工件移至出口。需要注意的是，机器的加工、以及未加工时间保温都会带来电能损耗；冷却区的容量是有限的；在任意时刻，车间的瞬时总功率不能超过最大额定功率；此外，工件在机器上加工完成后未能按规定时间被真空机械手搬运离开则会影响该工件的质量，该工件也会被认定为废品。因此，需要找到合适的调度方案在众多约束下满足多目标的求解。
2、晶圆制造过程中，机械手的操控亦对调度效率、车间总能耗以及晶圆质量有着显...
【技术保护点】
1.含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法，其特征在于，步骤S2中，在控制大气机械手和真空机械手的拉动控件中，首先获取到关于机械手的阻塞列表，该阻塞列表记录着需要被搬运的晶圆和输入时间；通过设计机械手的控制策略，对该阻塞列表的晶圆采用搬运任务驱动的方式，完成晶圆搬运；
3.根据权利要求1所述的含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法，其特征在于，步骤S3中，对于工艺加工区的机械手，考虑到已完工晶圆的完工时间和驻留时间约束，分别提出3种机械手控制...
【技术特征摘要】
1.含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法，其特征在于，步骤s2中，在控制大气机械手和真空机械手的拉动控件中，首先获取到关于机械手的阻塞列表，该阻塞列表记录着需要被搬运的晶圆和输入时间；通过设计机械手的控制策略，对该阻塞列表的晶圆采用搬运任务驱动的方式，完成晶圆搬运；
3.根据权利要求1所述的含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖芳芳，彭乘风，李翔，廖勇，林安平，郑昌隆，刘涛，龙灵飞，
申请(专利权)人：湘南学院，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。