【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及卤化物提纯工艺领域，具体涉及一种四氯化铪的提纯方法。
技术介绍
1、四氯化铪是一种无色的白色粉末，主要用于医药行业、精细有机合成及电子半导体行业等。四氯化铪是半导体行业中极其重要的电子级稀有金属氯化物，电子工业要求的电子级稀有金属氯化物纯度通常不低于5n，主要限制各种碱性金属（na、k、ca、al）和过渡金属（fe、cu、zn）元素和p、s等非金属元素的含量，这些杂质元素会严重影响半导体制备，造成严重的不良率。在生产四氯化铪过程中，常常伴有fecl3、alcl3、ticl4、sicl4等杂质，fecl3的沸点与四氯化铪接近，难以除去，这些杂质对四氯化铪的产品质量影响很大，必须采用提纯方法以去除这些杂质。传统提纯采用的是加氢升华、真空减压升华、湿法洗涤过滤、熔盐提纯等，这些方法存在着操作不稳定、脱离杂质单一、效率低等缺点，其中升华除杂方法在除杂过程中气体分子大量逸出时裹挟部分高沸物固体颗粒，无法做到气体分子与固体颗粒的有效分离，该技术存在高沸物杂质脱离困难的技术难点。
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种电子级四氯化铪的提纯方法，其特征在于包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化铪的提纯方法，其特征在于：所述的粗品四氯化铪的纯度大于99.99%，其粒度为20~60目。
3.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化铪的提纯方法，其特征在于：所述的过滤材料为分子筛或活性炭或高纯滤膜，过滤材料的孔径均小于10微米。
4.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化铪的提纯方法，其特征在于：分子筛过滤材料材质为碱金属硅酸铝盐，孔径为10Å；活性炭滤材孔径为10 nm~ 20 nm；高纯滤膜孔径为0.1 µm。
5.根...
【技术特征摘要】
1.一种电子级四氯化铪的提纯方法，其特征在于包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化铪的提纯方法，其特征在于：所述的粗品四氯化铪的纯度大于99.99%，其粒度为20~60目。
3.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化铪的提纯方法，其特征在于：所述的过滤材料为分子筛或活性炭或高纯滤膜，过滤材料的孔径均小于10微米。
4.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化铪的提纯方法，其特征在于：分子筛过滤材料材质为碱金...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘亦晨，雷芳怡，孙志方，
申请(专利权)人：湖南省华京粉体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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