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一种电子级四氯化铪的提纯方法，包括以下步骤：S1：在惰性气体保护下将粗品四氯化铪装入石英舟中后将石英舟提纯系统中，S2：开启真空泵，将提纯系统的真空度抽至10<supgt;‑3</supgt;~10<supgt;‑1 &l...
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