一种带有复位mapping功能载台制造技术

本发明专利技术公开了一种带有复位mapping功能载台，涉及半导体制造领域，包括设置于基准平台上、并被容器笼罩的mapping支架；所述mapping支架用于托顶不同规格的晶圆；还包括：由所述基准平台上的弧形腰孔延伸至于所述容器平高的拨片杆；驱使所述拨片杆活动的旋转机构；所述拨片杆的数量至少为四个，并关于所述容器圆周阵列布置，其活动方向为向所述容器靠拢或远离。本发明专利技术减少了人工搬运造成的破片，并且mapping的集成减少了与载台配合设备的使用空间，提高了传片效率，减少了成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种带有复位mapping功能载台。

技术介绍

1、目前，在半导体制造业，凸片矫正机构得到了广泛应用，凸片矫正机构运行装置，主要负责将要加工的半导体晶圓将cassette(装晶圆的容器)里的凸片在cassette(装晶圆的容器)内复位。

2、而通常cassette(装晶圆的容器)上下料需要人工进行装卸料,易出现凸片，会造取片碎片风险，现实现自动矫正功能；

3、通常mapping功能是加在robot上，这样会影响设备空间使用，会使设备体积变大，浪费成本。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种带有复位mapping功能载台，传统的载台没有带有自动复位自动mapping功能，需要借助其他设备完成，会影响效率。

2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种带有复位mapping功能载台，包括设置于基准平台上、并被容器笼罩的mapping支架；

3、所述mapping支架用于托顶不同规格晶圆；p>

4、还包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带有复位mapping功能载台，其特征在于，包括设置于基准平台(1)上、并被容器(3)笼罩的mapping支架(2)；

2.根据权利要求1所述的一种带有复位mapping功能载台，其特征在于，所述容器(3)位于相对两次开设有避让缺槽(31)，所述避让缺槽(31)用于使所述为向所述容器(3)靠拢的拨片杆(4)活动接触晶圆以位于所述mapping支架(2)复位。

3.根据权利要求1所述的一种带有复位mapping功能载台，其特征在于，所述mapping支架(2)包括液压顶伸部(21)。

4.根据权利要求1所述的一种带有复位mapping功能载台，其...

【技术特征摘要】

1.一种带有复位mapping功能载台，其特征在于，包括设置于基准平台(1)上、并被容器(3)笼罩的mapping支架(2)；

2.根据权利要求1所述的一种带有复位mapping功能载台，其特征在于，所述容器(3)位于相对两次开设有避让缺槽(31)，所述避让缺槽(31)用于使所述为向所述容器(3)靠拢的拨片杆(4)活动接触晶圆以位于所述mapping支架(2)复位。

3.根据权利要求1所述的一种带有复位mapping功能载台，其特征在于，所述mapping支架(2)包括液压顶伸部(21)。

4.根据权利要求1所述的一种带有复位mapping功能载台，其特征在于，所述旋转机构(5)包括：

5.根据权利要求4所述的一种带有复位mapping功能载台，其特征在于，所述连柄(511)的端部开设有活动槽(512)，所述活动槽(512)内滑动设置有固定所述拨片杆(4)用的滑动块(513)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛利群，王勇，刘峰，
申请(专利权)人：天津锐洁芯导机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：