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本发明公开了一种带有复位mapping功能载台，涉及半导体制造领域，包括设置于基准平台上、并被容器笼罩的mapping支架；所述mapping支架用于托顶不同规格的晶圆；还包括：由所述基准平台上的弧形腰孔延伸至于所述容器平高的拨片杆；驱使所...
该专利属于天津锐洁芯导机器人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津锐洁芯导机器人有限公司授权不得商用。

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