一种绿光LED制造技术

技术编号:43923306 阅读:29 留言:0更新日期:2025-01-03 13:27
本发明专利技术涉及一种绿光LED,包括依次层叠于衬底上的n型层、多量子阱层、超晶格电子阻挡层、p型层和p型电极;多量子阱层包括n个周期的量子阱结构,单个周期的量子阱结构由InGaN层、第一GaN层、AlGaN插入层和第二GaN层依次层叠而成,AlGaN插入层的Al组分沿衬底指向p型层的方向上逐层增大;超晶格电子阻挡层由m个周期的AlGaN/GaN叠层和设置于该叠层上的AlGaN厚层组成;该多量子阱层和超晶格电子阻挡层的设置有效提高了势垒高度,降低了电子泄露,缓解了热电子的移动速度,促进载流子的更快扩散,改善电流拥堵作用,具有更优的辐射发光性能和更高的调制带宽。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光通信,具体涉及一种高调制带宽高光输出效率的mini型绿光led。


技术介绍

1、led光通信技术的出现缓解了射频通信频谱匮乏的问题。光通信因为的高速、高宽带、低损耗、低干扰的优势,迅速成为了当下研究的一个热点。mini型led,是指尺寸小于200μm的led器件,由于电流拓展性优于大尺寸led,随着led尺寸的减小,led光束的横向传播减小,可以获得更高的发光效率;且水平方向的电阻减小,合理改善了电流分布,极大地改善了电流拓展效应,提高了载流子的复合效率,进一步提升了带宽。mini led高调制带宽、大电流密度的优势,让其常常被选作为led可见光通信中的信源,但由于algan和gan之间的失配应力增大所引起的强极化,导致严重的量子约束斯塔克效应(qcse),从而加剧了电子泄漏和非辐射复合,特别是奥吉尔重组。受到非辐射复合的影响,现目前水平mini led的光输出功率lop很小,低于1mw,插墙效率wpe低于1%,无法满足长传输距离的要求,调制带宽及光输出效率均受到了限制,难以满足高速率地通信。


>技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种绿光LED,其特征在于,包括依次层叠于衬底上的n型层、多量子阱层、超晶格电子阻挡层、p型层和p型电极;

2.根据权利要求1所述的绿光LED,其特征在于,所述多量子阱层中,第一个周期的量子阱结构中AlGaN插入层的Al组分为0.04,最后一个周期的量子结构中AlGaN插入层的Al组分为0.2,相邻周期的量子阱结构中AlGaN插入层的Al组分的差值恒定。

3.根据权利要求1或2所述的绿光LED,其特征在于,单个周期的量子阱结构中,InGaN层的厚度为3nm,第一GaN层的厚度为3nm,AlGaN插入层的厚度为1~2nm,第二GaN层的厚度为3nm。

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【技术特征摘要】

1.一种绿光led,其特征在于,包括依次层叠于衬底上的n型层、多量子阱层、超晶格电子阻挡层、p型层和p型电极;

2.根据权利要求1所述的绿光led,其特征在于,所述多量子阱层中,第一个周期的量子阱结构中algan插入层的al组分为0.04,最后一个周期的量子结构中algan插入层的al组分为0.2,相邻周期的量子阱结构中algan插入层的al组分的差值恒定。

3.根据权利要求1或2所述的绿光led,其特征在于,单个周期的量子阱结构中,ingan层的厚度为3nm,第一gan层的厚度为3nm,algan插入层的厚度为1~2nm,第二gan层的厚度为3nm。

4.根据权利要求3所述的绿光led,其特征在于,所述algan/gan叠层中,algan层的厚度为1~2nm,gan层的...

【专利技术属性】
技术研发人员:尹以安韦克俊莫淇予谢雅芳
申请(专利权)人:华南师范大学
类型:发明
国别省市:

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