PE-poly补镀方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种PE‑poly补镀方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括：在PE‑poly设备报警中断运行后，基于报警原因、已完成沉积步骤的工艺参数和当前沉积步骤的工艺参数判断是否对硅片进行补镀；若判定对硅片进行补镀，则基于报警原因、已完成沉积步骤的工艺参数和当前沉积步骤的工艺参数确定硅片的补镀工艺参数；控制PE‑poly设备基于补镀工艺参数对硅片进行补镀。本发明专利技术能够将现有技术判定为不合格的硅片变为合格的硅片，避免材料、能源的浪费。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气相沉积，尤其涉及一种pe-poly补镀方法、装置、电子设备及存储介质。

技术介绍

1、目前，主流的topcon路线太阳能电池工艺路线中，pe-poly路线占到50％以上。pe-poly是指用等离子增强化学气相沉积方式在硅片表面沉积一层poly-si，可根据具体需求调整不同的n-poly层数和厚度。受生产模式影响，此路线方法会造成一定比例的因高频报警而造成工艺运行中断。

2、针对此种情况，当前常规方法是将此批硅片直接返工，先将硅片采用特定方法清洗一遍，去除硅片表面已有的膜层，再返回至第一道工序在硅片表面制绒重新投产。这样会耽误生产时间，造成材料、人力、能源的浪费。

技术实现思路

1、本专利技术实施例提供了一种pe-poly补镀方法、装置、电子设备及存储介质，以解决pe-poly设备报警中断后硅片返工造成材料、能源浪费的问题。

2、第一方面，本专利技术实施例提供了一种pe-poly补镀方法，包括：

3、在pe-poly设备报警中断运行后，基于报警原因、已完成沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PE-poly补镀方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的PE-poly补镀方法，其特征在于，所述在PE-poly设备报警中断运行后，基于报警原因、已完成沉积步骤的工艺参数和当前沉积步骤的工艺参数判断是否对硅片进行补镀，包括：

3.根据权利要求2所述的PE-poly补镀方法，其特征在于，工艺参数包括工艺时长；所述基于所述报警原因、所述已完成沉积步骤的工艺参数和当前沉积步骤的工艺参数确定所述硅片的补镀工艺参数，包括：

4.根据权利要求3所述的PE-poly补镀方法，其特征在于，所述基于当前沉积步骤的已进行时长对所述剩余沉积步骤的时长进行...

【技术特征摘要】

1.一种pe-poly补镀方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的pe-poly补镀方法，其特征在于，所述在pe-poly设备报警中断运行后，基于报警原因、已完成沉积步骤的工艺参数和当前沉积步骤的工艺参数判断是否对硅片进行补镀，包括：

3.根据权利要求2所述的pe-poly补镀方法，其特征在于，工艺参数包括工艺时长；所述基于所述报警原因、所述已完成沉积步骤的工艺参数和当前沉积步骤的工艺参数确定所述硅片的补镀工艺参数，包括：

4.根据权利要求3所述的pe-poly补镀方法，其特征在于，所述基于当前沉积步骤的已进行时长对所述剩余沉积步骤的时长进行调整，包括：

5.根据权利要求3所述的pe-poly补镀方法，其特征在于，所述基于当前沉积步骤的已进行时长对所述剩余...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志彬，宋连胜，刘莉丽，李倩，李青娟，魏双双，李雪涛，
申请(专利权)人：英利能源发展保定有限公司，
类型：发明
国别省市：