用于化学气相沉积的材料、膜生产方法和膜技术

本发明专利技术提供了新颖的用于化学气相沉积的材料、膜生产方法、以及膜。提供了由式(1)表示的用于化学气相沉积的材料。(在该式中，E是氧原子、硫原子、硒原子、或碲原子。R1、R2和R3各自独立地是氢原子或者直链、支链或环状的C1‑7有机基团，并且R1、R2和R3中的至少一个包含氟原子。不包括其中R1、R2和R3都是氢原子的情况。)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本披露涉及化学气相沉积材料、膜生产方法和膜。

技术介绍

1、在电池中，需要耐久性和高离子电导率。例如，在锂离子电池中，有必要维持电极耐久性并且具有高离子电导率。关于耐久性，已知提供了覆盖锂离子电池中的正电极和负电极的膜。锂磷氧氮(lipon)、铌酸锂(linbo3)、钛酸锂(li2tio3)等是膜中含有的化合物的实例。

2、专利文件1披露了用于生产锂磷氧氮层的化学气相沉积材料。

3、现有技术文件

4、专利文件

5、专利文件1：日本未审查专利2017-48445

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、本披露的目的是提供新颖的化学气相沉积材料、膜生产方法和膜。

3、解决问题的手段

4、本专利技术的专利技术人发现上述问题可以通过由下式(1)表示的化学气相沉积材料来解决。

5、[1]一种由下式(1)表示的化学气相沉积材料。

6、[化学符号1]

7、

8、(在此，e是氧原子、硫原子、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种由下式(1)表示的化学气相沉积材料

2.如权利要求1所述的化学气相沉积材料，其中，

3.如权利要求2所述的化学气相沉积材料，其中，

4.如权利要求3所述的化学气相沉积材料，其中，

5.如权利要求4所述的化学气相沉积材料，其中，

6.如权利要求1所述的化学气相沉积材料，其中，

7.一种膜生产方法，其具有形成步骤，由该形成步骤将如权利要求1至6中任一项所述的化学气相沉积材料气相沉积到衬底上以形成膜。

8.如权利要求7所述的膜生产方法，其中，

9.如权利要求8所述的膜生产方法，其中，

...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种由下式(1)表示的化学气相沉积材料

2.如权利要求1所述的化学气相沉积材料，其中，

3.如权利要求2所述的化学气相沉积材料，其中，

4.如权利要求3所述的化学气相沉积材料，其中，

5.如权利要求4所述的化学气相沉积材料，其中，

6.如权利要求1所述的化学气相沉积材料，其中，

7.一种膜生产方法，其具有形成步骤，由该形成步骤将如...

【专利技术属性】
技术研发人员：上村直，J·格里尔，克里斯均·杜萨拉特，
申请(专利权)人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司，
类型：发明
国别省市：