【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于分子泵拆装，具体涉及一种分子泵辅助拆装装置。
技术介绍
1、高密度等离子体（hdp）设备中使用的分子泵重约115kg，在机台装配或分子泵出现异常待更换时，需要对分子泵进行拆装。由于分子泵较重，安装位置距离地面有一定高度，并且作业空间有限，导致拆装过程中分子泵的位置调整和移动存在困难。目前，通常依靠作业人员手提搬运移动，并且需要通过在分子泵下方加垫支撑块的来辅助拆装，然而，由于分子泵较重，拆装移动过程中，需至少4-5人作业，不仅耗费人力，还存在分子泵倾倒导致人员受伤的风险；此外，分子泵抬高后，不方便作业位置调整，与安装孔定位困难，不便于安装。
技术实现思路
1、基于现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种分子泵辅助拆装装置，旨在解决现有技术中的分子泵从机台拆卸或安装时搬运移动困难的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了一种分子泵辅助拆装装置，应用于半导体设备中分子泵的辅助安装及拆卸，分子泵辅助拆装装置包括移动小车、升降机构和承载台，移动小车顶部设有具有开口的承载台；升降机构包括升降驱动装置和升降台，升降驱动装置设置于移动小车上，并且位于承载台的开口下方，与升降台连接并用于驱动升降台相对于承载台的开口上下移动；升降台的顶部设有第一凸面和第二凸面，第一凸面和第二凸面相间隔且相对设置；承载台的顶部具有第三凸面和第四凸面，第三凸面和第四凸面分别位于承载台的开口两侧；当升降台位于承载台的开口时，第一凸面、第二凸面分别位于第三凸面和第四凸面之间，第一凸面、第
3、可选地，第三凸面和第四凸面分别设置有侧挡板，侧挡板的内壁与分子泵的侧壁相适配。
4、可选地，分子泵辅助拆装装置还包括水平监测台、第一水平块和第二水平块，水平监测台连接在升降台的一侧，水平监测台上设置t型容纳槽，第一水平块和第二水平块放置在t型容纳槽内，用于观察分子泵在安装定位过程中的水平情况。
5、可选地，升降驱动装置为剪叉式升降机构。
6、可选地，剪叉式升降机构包括上固定座、下固定座、第一连接块、第二连接块、驱动杆和两组正对设置的升降叉架，上固定座固定安装于升降台的底部，下固定座位于上固定座下方且固定安装于移动小车上；各升降叉架包括两个第一叉臂和两个第二叉臂，两个第一叉臂的上端分别与上固定座铰接，两个第二叉臂的下端分别与下固定座铰接，两个第一叉臂的下端分别与第一连接块、第二连接块铰接，两个第二叉臂的上端分别与第一连接块、第二连接块铰接；驱动杆与第一连接块、第二连接块分别连接，用于调整第一连接块和第二连接块之间的距离。
7、可选地，移动小车包括底板、中板、侧板和万向脚轮，万向脚轮设置于底板下方，底板上方与侧板的底部连接，侧板的顶部与承载台连接，中板设置于承载台与底板之间，且中板的一端连接于侧板，中板与侧板、底板形成一侧具有开口的u型结构，升降驱动装置设置于中板上方。
8、可选地，底板与中板之间、中板与承载台之间分别设置有加强筋，其中，加强筋还与侧板连接。
9、可选地，万向脚轮的上方安装有高度调节装置，万向脚轮通过高度调节装置连接于底板下方。
10、可选地，高度调节装置为螺栓。
11、可选地，底板、中板、侧板和承载台均采用不锈钢材质。
12、与现有技术相比，本专利技术提供的一种分子泵辅助拆装装置的有益效果在于：
13、本专利技术通过设置移动小车，并在移动小车上设置升降机构和承载台，通过在承载台上设置开口，使升降机构的升降驱动装置驱动升降台相对于承载台的开口上下移动，通过在升降台的顶部设有第一凸面和第二凸面，在承载台的顶部设有第三凸面和第四凸面，使得当升降台位于承载台的开口时，第一凸面、第二凸面、第三凸面和第四凸面围合形成定位分子泵的定位凹槽。本专利技术的分子泵辅助拆装装置，在对分子泵进行安装或拆卸时，可通过移动小车对分子泵进行搬运，通过调节升降台使分子泵靠近或远离安装位置，使安装和拆卸更加方便快捷，提高了安装和拆卸的效率，并且无需大量人力；同时，通过定位凹槽对分子泵进行定位，不仅能够提高安装定位的准确性，还能够防止分子泵倾倒，降低人员受伤的风险。
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1.一种分子泵辅助拆装装置，其特征在于，其应用于半导体设备中分子泵的辅助安装及拆卸，所述分子泵辅助拆装装置包括移动小车、升降机构和承载台，所述移动小车顶部设有具有开口的承载台；所述升降机构包括升降驱动装置和升降台，所述升降驱动装置设置于所述移动小车上，并且位于所述承载台的开口下方，与所述升降台连接并用于驱动所述升降台相对于所述承载台的开口上下移动；
2.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述第三凸面和所述第四凸面分别设置有侧挡板，所述侧挡板的内壁与所述分子泵的侧壁相适配。
3.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，还包括水平监测台、第一水平块和第二水平块，所述水平监测台连接在所述升降台的一侧，所述水平监测台上设置T型容纳槽，所述第一水平块和所述第二水平块放置在所述T型容纳槽内，用于观察分子泵在安装定位过程中的水平情况。
4.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述升降驱动装置为剪叉式升降机构。
5.根据权利要求4所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述剪叉式升降机构包括上固定座、下固
6.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述移动小车包括底板、中板、侧板和万向脚轮，所述万向脚轮设置于所述底板下方，所述底板上方与所述侧板的底部连接，所述侧板的顶部与所述承载台连接，所述中板设置于所述承载台与所述底板之间，且所述中板的一端连接于所述侧板，所述中板与所述侧板、所述底板形成一侧具有开口的U型结构，所述升降驱动装置设置于所述中板上方。
7.根据权利要求6所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述底板与所述中板之间、所述中板与所述承载台之间分别设置有加强筋，其中，所述加强筋还与所述侧板连接。
8.根据权利要求6所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述万向脚轮的上方安装有高度调节装置，所述万向脚轮通过所述高度调节装置连接于所述底板下方。
9.根据权利要求8所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述高度调节装置为螺栓。
10.根据权利要求6所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述底板、中板、侧板和承载台均采用不锈钢材质。
...【技术特征摘要】
1.一种分子泵辅助拆装装置，其特征在于，其应用于半导体设备中分子泵的辅助安装及拆卸，所述分子泵辅助拆装装置包括移动小车、升降机构和承载台，所述移动小车顶部设有具有开口的承载台；所述升降机构包括升降驱动装置和升降台，所述升降驱动装置设置于所述移动小车上，并且位于所述承载台的开口下方，与所述升降台连接并用于驱动所述升降台相对于所述承载台的开口上下移动；
2.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述第三凸面和所述第四凸面分别设置有侧挡板，所述侧挡板的内壁与所述分子泵的侧壁相适配。
3.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，还包括水平监测台、第一水平块和第二水平块，所述水平监测台连接在所述升降台的一侧，所述水平监测台上设置t型容纳槽，所述第一水平块和所述第二水平块放置在所述t型容纳槽内，用于观察分子泵在安装定位过程中的水平情况。
4.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述升降驱动装置为剪叉式升降机构。
5.根据权利要求4所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述剪叉式升降机构包括上固定座、下固定座、第一连接块、第二连接块、驱动杆和两组正...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭鑫，苏宇，李伟阳，王晓晨，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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