一种分子泵辅助拆装装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种分子泵辅助拆装装置，其包括移动小车、升降机构和承载台，移动小车顶部设有具有开口的承载台；升降机构包括升降驱动装置和升降台，升降驱动装置设置于移动小车上，并且位于承载台的开口下方，与升降台连接并用于驱动升降台相对于承载台的开口上下移动；升降台的顶部设有第一凸面和第二凸面；承载台的顶部具有第三凸面和第四凸面；当升降台位于承载台的开口时，第一凸面、第二凸面分别位于第三凸面和第四凸面之间，第一凸面、第二凸面、第三凸面和第四凸面围合形成用于定位分子泵的定位凹槽。本发明专利技术提高了安装和拆卸分子泵的效率，并且无需大量人力；同时，还提高安装定位的准确性，还能够防止分子泵倾倒，降低人员受伤的风险。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于分子泵拆装，具体涉及一种分子泵辅助拆装装置。

技术介绍

1、高密度等离子体（hdp）设备中使用的分子泵重约115kg，在机台装配或分子泵出现异常待更换时，需要对分子泵进行拆装。由于分子泵较重，安装位置距离地面有一定高度，并且作业空间有限，导致拆装过程中分子泵的位置调整和移动存在困难。目前，通常依靠作业人员手提搬运移动，并且需要通过在分子泵下方加垫支撑块的来辅助拆装，然而，由于分子泵较重，拆装移动过程中，需至少4-5人作业，不仅耗费人力，还存在分子泵倾倒导致人员受伤的风险；此外，分子泵抬高后，不方便作业位置调整，与安装孔定位困难，不便于安装。

技术实现思路

1、基于现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种分子泵辅助拆装装置，旨在解决现有技术中的分子泵从机台拆卸或安装时搬运移动困难的技术问题。

2、为实现上述目的，本专利技术提供了一种分子泵辅助拆装装置，应用于半导体设备中分子泵的辅助安装及拆卸，分子泵辅助拆装装置包括移动小车、升降机构和承载台，移动小车顶部设有具有开口的承载台；升降机构本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种分子泵辅助拆装装置，其特征在于，其应用于半导体设备中分子泵的辅助安装及拆卸，所述分子泵辅助拆装装置包括移动小车、升降机构和承载台，所述移动小车顶部设有具有开口的承载台；所述升降机构包括升降驱动装置和升降台，所述升降驱动装置设置于所述移动小车上，并且位于所述承载台的开口下方，与所述升降台连接并用于驱动所述升降台相对于所述承载台的开口上下移动；

2.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述第三凸面和所述第四凸面分别设置有侧挡板，所述侧挡板的内壁与所述分子泵的侧壁相适配。

3.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，还包括水平监测台、...

【技术特征摘要】

1.一种分子泵辅助拆装装置，其特征在于，其应用于半导体设备中分子泵的辅助安装及拆卸，所述分子泵辅助拆装装置包括移动小车、升降机构和承载台，所述移动小车顶部设有具有开口的承载台；所述升降机构包括升降驱动装置和升降台，所述升降驱动装置设置于所述移动小车上，并且位于所述承载台的开口下方，与所述升降台连接并用于驱动所述升降台相对于所述承载台的开口上下移动；

2.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述第三凸面和所述第四凸面分别设置有侧挡板，所述侧挡板的内壁与所述分子泵的侧壁相适配。

3.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，还包括水平监测台、第一水平块和第二水平块，所述水平监测台连接在所述升降台的一侧，所述水平监测台上设置t型容纳槽，所述第一水平块和所述第二水平块放置在所述t型容纳槽内，用于观察分子泵在安装定位过程中的水平情况。

4.根据权利要求1所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述升降驱动装置为剪叉式升降机构。

5.根据权利要求4所述的分子泵辅助拆装装置，其特征在于，所述剪叉式升降机构包括上固定座、下固定座、第一连接块、第二连接块、驱动杆和两组正...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭鑫，苏宇，李伟阳，王晓晨，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：