温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种分子泵辅助拆装装置，其包括移动小车、升降机构和承载台，移动小车顶部设有具有开口的承载台；升降机构包括升降驱动装置和升降台，升降驱动装置设置于移动小车上，并且位于承载台的开口下方，与升降台连接并用于驱动升降台相对于承载台的开口...
该专利属于盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。